??證券代碼：688012 證券簡(jiǎn)稱：中微公司 公告編號(hào)：2022-004

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議決議公告

??本公司董事會(huì)及全體董事保證本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

??一、董事會(huì)會(huì)議召開情況

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”或“公司”）于2022年3月9日在公司會(huì)議室以現(xiàn)場(chǎng)及通訊方式召開了第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議（以下簡(jiǎn)稱“本次會(huì)議”）。本次會(huì)議的通知于2022年3月2日通過電話及郵件方式送達(dá)全體董事。會(huì)議應(yīng)出席董事11人，實(shí)際到會(huì)董事11人，會(huì)議由公司董事長(zhǎng)GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）先生主持。會(huì)議的召集和召開程序符合有關(guān)法律、行政法規(guī)、部門規(guī)章、規(guī)范性文件和公司章程的規(guī)定。會(huì)議決議合法、有效。

??二、董事會(huì)會(huì)議審議情況

??會(huì)議經(jīng)全體參會(huì)董事表決，形成決議如下：

??（一）審議通過《關(guān)于對(duì)參股公司增資暨關(guān)聯(lián)交易的議案》

??公司擬對(duì)參股子公司睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“上海睿勵(lì)”）增資，以現(xiàn)金方式投資1.08億元（大寫：壹億零捌佰萬元）人民幣，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本75,766,759.34元人民幣，認(rèn)購(gòu)單價(jià)為1.43元/股（注冊(cè)資本）（以下簡(jiǎn)稱“本次增資”）。

??上述交易完成后，公司持有的上海睿勵(lì)注冊(cè)資本額增加至163,266,759.34元人民幣，公司持股比例由20.4467%增加至29.3562%。

??為了保證本次增資有關(guān)事宜的順利進(jìn)行，公司董事會(huì)提請(qǐng)公司股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)全權(quán)處理本次增資的一切有關(guān)事宜。同時(shí)為便于實(shí)施本次增資有關(guān)事宜，董事會(huì)將在股東大會(huì)授權(quán)范圍內(nèi)，轉(zhuǎn)授權(quán)公司管理層及相關(guān)部門負(fù)責(zé)辦理本次對(duì)外投資具體事宜，授權(quán)有效期至相關(guān)事項(xiàng)全部辦理完畢為止。

??公司獨(dú)立董事已就該事項(xiàng)發(fā)表了事前認(rèn)可意見及明確同意的獨(dú)立意見。

??表決結(jié)果：9票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)，關(guān)聯(lián)董事GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）、楊征帆回避表決。

??本議案尚需提交股東大會(huì)審議。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??（二）審議通過《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）〉及其摘要的議案》

??為了進(jìn)一步建立、健全公司長(zhǎng)效激勵(lì)機(jī)制，吸引和留住***人才，充分調(diào)動(dòng)公司員工的積極性，有效地將股東利益、公司利益和員工個(gè)人利益結(jié)合在一起，使各方共同關(guān)注公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展，按照激勵(lì)與約束對(duì)等的原則，根據(jù)《中華人民共和國(guó)公司法》《中華人民共和國(guó)證券法》《上市公司股權(quán)激勵(lì)管理辦法》《上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市規(guī)則》《科創(chuàng)板上市公司自律監(jiān)管指南第4號(hào)一一股權(quán)激勵(lì)信息披露》等有關(guān)法律、法規(guī)和規(guī)范性文件以及《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司章程》的規(guī)定，公司擬定了《2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）》及其摘要，擬向激勵(lì)對(duì)象實(shí)施限制性股票激勵(lì)。

??公司獨(dú)立董事已就該事項(xiàng)發(fā)表了明確同意的獨(dú)立意見。

??表決結(jié)果：9票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)，關(guān)聯(lián)董事GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）、ZHIYOU DU（杜志游）為本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的激勵(lì)對(duì)象，故在本議案中回避表決。

??本議案尚需提交股東大會(huì)審議。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??（三）審議通過《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法〉的議案》

??為保證公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的順利進(jìn)行，根據(jù)有關(guān)法律法規(guī)以及公司《2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）》及其摘要的規(guī)定和公司實(shí)際情況，特制定公司《2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法》。

??表決結(jié)果：9票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)，關(guān)聯(lián)董事GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）、ZHIYOU DU（杜志游）為本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的激勵(lì)對(duì)象，故在本議案中回避表決。

??本議案尚需提交股東大會(huì)審議。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??（四）審議通過《關(guān)于提請(qǐng)股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)辦理股權(quán)激勵(lì)相關(guān)事宜的議案》

??為了具體實(shí)施公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃，公司董事會(huì)提請(qǐng)股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)辦理公司限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的有關(guān)事項(xiàng)：

??1、提請(qǐng)公司股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)負(fù)責(zé)具體實(shí)施2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的以下事項(xiàng)：

??（1）授權(quán)董事會(huì)確定激勵(lì)對(duì)象參與本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的資格和條件，授權(quán)董事會(huì)確定限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的授予日；

??（2）授權(quán)董事會(huì)在公司出現(xiàn)資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股票拆細(xì)或縮股、配股等事宜時(shí)，按照限制性股票激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的方法對(duì)限制性股票的授予/歸屬數(shù)量進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整；

??（3）授權(quán)董事會(huì)在公司出現(xiàn)資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股票拆細(xì)或縮股、配股、派息等事宜時(shí)，按照限制性股票激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的方法對(duì)限制性股票授予/歸屬價(jià)格進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整；

??（4）授權(quán)董事會(huì)在限制性股票授予前，將因員工離職或員工放棄認(rèn)購(gòu)的限制性股票份額調(diào)整到預(yù)留部分或在激勵(lì)對(duì)象之間進(jìn)行分配和調(diào)整；

??（5）授權(quán)董事會(huì)在激勵(lì)對(duì)象符合條件時(shí)向激勵(lì)對(duì)象授予限制性股票，并辦理授予相關(guān)權(quán)益必需的全部事宜，包括與激勵(lì)對(duì)象簽署《限制性股票授予協(xié)議書》；

??（6）授權(quán)董事會(huì)對(duì)激勵(lì)對(duì)象的歸屬資格、歸屬數(shù)量進(jìn)行審查確認(rèn)，并同意董事會(huì)將該項(xiàng)權(quán)利授予薪酬與考核委員會(huì)行使；

??（7）授權(quán)董事會(huì)決定激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票是否可以歸屬；

??（8）授權(quán)董事會(huì)辦理激勵(lì)對(duì)象歸屬/行權(quán)時(shí)所必需的全部事宜，包括但不限于向證券交易所提出歸屬申請(qǐng)、向登記結(jié)算公司申請(qǐng)辦理有關(guān)登記結(jié)算業(yè)務(wù)、修改公司章程、辦理公司注冊(cè)資本的變更登記；

??（9）授權(quán)董事會(huì)根據(jù)限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的規(guī)定辦理激勵(lì)計(jì)劃變更與終止所涉相關(guān)事宜，包括但不限于取消激勵(lì)對(duì)象的歸屬資格，對(duì)激勵(lì)對(duì)象尚未歸屬的限制性股票取消處理；

??（10）授權(quán)董事會(huì)對(duì)限制性股票激勵(lì)計(jì)劃進(jìn)行管理和調(diào)整，在與激勵(lì)計(jì)劃的條款一致的前提下不定期制定或修改該計(jì)劃的管理和實(shí)施規(guī)定。但如果法律、法規(guī)或相關(guān)監(jiān)管機(jī)構(gòu)要求該等修改需得到股東大會(huì)或/和相關(guān)監(jiān)管機(jī)構(gòu)的批準(zhǔn)，則董事會(huì)的該等修改必須得到相應(yīng)的批準(zhǔn)；

??（11）授權(quán)董事會(huì)實(shí)施限制性股票激勵(lì)計(jì)劃所需的其他必要事宜，但有關(guān)文件明確規(guī)定需由股東大會(huì)行使的權(quán)利除外。

??2、提請(qǐng)公司股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)，就本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃向有關(guān)政府、機(jī)構(gòu)辦理審批、登記、備案、核準(zhǔn)、同意等手續(xù)；簽署、執(zhí)行、修改、完成向有關(guān)政府、機(jī)構(gòu)、組織、個(gè)人提交的文件；修改《公司章程》、辦理公司注冊(cè)資本的變更登記；以及做出其認(rèn)為與限制性股票激勵(lì)計(jì)劃有關(guān)的必須、恰當(dāng)或合適的所有行為。

??3、提請(qǐng)股東大會(huì)為限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的實(shí)施，授權(quán)董事會(huì)委任財(cái)務(wù)顧問、收款銀行、會(huì)計(jì)師、律師、證券公司等中介機(jī)構(gòu)。

??4、提請(qǐng)公司股東大會(huì)同意，向董事會(huì)授權(quán)的期限與激勵(lì)計(jì)劃有效期一致。

??表決結(jié)果：9票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)，關(guān)聯(lián)董事GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）、ZHIYOU DU（杜志游）為本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的激勵(lì)對(duì)象，故在本議案中回避表決。

??本議案尚需提交股東大會(huì)審議。

??（五）審議通過《關(guān)于提請(qǐng)召開中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)的議案》

??根據(jù)《中華人民共和國(guó)證券法》《中華人民共和國(guó)公司法》和《上市公司股東大會(huì)規(guī)則》等法律、法規(guī)和規(guī)范性文件的要求及《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司章程》《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司股東大會(huì)議事規(guī)則》的有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)提請(qǐng)于2022年3月25日召開公司2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)，審議《關(guān)于對(duì)參股公司增資暨關(guān)聯(lián)交易的議案》《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）〉及其摘要的議案》《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法〉的議案》《關(guān)于提請(qǐng)股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)辦理股權(quán)激勵(lì)相關(guān)事宜的議案》。

??表決結(jié)果：11票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??特此公告。

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事會(huì)

??2022年3月10日

??證券代碼：688012 證券簡(jiǎn)稱：中微公司 公告編號(hào)：2022-007

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??2022年限制性股票

??激勵(lì)計(jì)劃（草案）摘要公告

??本公司董事會(huì)及全體董事保證本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

??重要內(nèi)容提示：

??● 股權(quán)激勵(lì)方式：限制性股票（第二類）

??● 股份來源：公司向激勵(lì)對(duì)象定向發(fā)行公司A股普通股股票

??● 股權(quán)激勵(lì)的權(quán)益總數(shù)及涉及的標(biāo)的股票總數(shù)：《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）》（以下簡(jiǎn)稱“本激勵(lì)計(jì)劃”或“本計(jì)劃”）擬向激勵(lì)對(duì)象授予400萬股限制性股票，約占本激勵(lì)計(jì)劃草案公告時(shí)公司股本總額61,624.45萬股的0.649%。本次授予為一次性授予，無預(yù)留權(quán)益。

??一、股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃目的

??為了進(jìn)一步建立、健全公司長(zhǎng)效激勵(lì)機(jī)制，吸引和留住***人才，充分調(diào)動(dòng)公司員工的積極性，有效地將股東利益、公司利益和員工利益結(jié)合在一起，使各方共同關(guān)注公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展，按照激勵(lì)與約束對(duì)等的原則，根據(jù)《中華人民共和國(guó)公司法》（以下簡(jiǎn)稱“《公司法》”）、《中華人民共和國(guó)證券法》（以下簡(jiǎn)稱“《證券法》”）、《上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市規(guī)則》、（以下簡(jiǎn)稱“《上市規(guī)則》”）《上市公司股權(quán)激勵(lì)管理辦法》（以下簡(jiǎn)稱“《管理辦法》”）、《科創(chuàng)板上市公司自律監(jiān)管指南第4號(hào)一一股權(quán)激勵(lì)信息披露》（以下簡(jiǎn)稱“《監(jiān)管指南》”）等有關(guān)法律、法規(guī)和規(guī)范性文件以及《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司章程》（以下簡(jiǎn)稱“《公司章程》”）的規(guī)定，制定本激勵(lì)計(jì)劃。

??截至本激勵(lì)計(jì)劃公告日，本公司同時(shí)在實(shí)施2020年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃、2020年股票增值權(quán)激勵(lì)計(jì)劃。公司分別于2020年6月5日、2020年6月22日召開***屆董事會(huì)第十二次會(huì)議、2020年第二次臨時(shí)股東大會(huì)，審議通過了《關(guān)于公司〈2020年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案修訂稿）》及相關(guān)議案、關(guān)于公司〈2020年股票增值權(quán)激勵(lì)計(jì)劃（草案修訂稿）》及相關(guān)議案。公司分別于2020年6月30日、2020年11月6日向2020年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象授予限制性股票合計(jì)773.989萬股，約占授予時(shí)點(diǎn)公司股本總額的1.45%。公司于2020年6月30日向2020年股票增值權(quán)激勵(lì)對(duì)象授予54.68萬份股票增值權(quán)，約占授予時(shí)點(diǎn)公司股本總額的0.102%。

??公司于2021年7月9日召開***屆董事會(huì)第二十一次會(huì)議審議通過《關(guān)于公司2020年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃***授予部分***個(gè)歸屬期符合歸屬條件的議案》、《關(guān)于公司2020年股票增值權(quán)激勵(lì)計(jì)劃***個(gè)行權(quán)期符合行權(quán)條件的議案》。公司于2021年12月9日召開第二屆董事會(huì)***次會(huì)議審議通過《關(guān)于公司2020年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃預(yù)留授予部分***個(gè)歸屬期符合歸屬條件的議案》。

??本次激勵(lì)計(jì)劃與正在實(shí)施的2020年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃相互獨(dú)立，不存在相關(guān)聯(lián)系。

??二、股權(quán)激勵(lì)方式及標(biāo)的股票來源

??（一）本激勵(lì)計(jì)劃的激勵(lì)方式

??本激勵(lì)計(jì)劃采用的激勵(lì)工具為第二類限制性股票。符合本激勵(lì)計(jì)劃授予條件的激勵(lì)對(duì)象，在滿足相應(yīng)歸屬條件后，以授予價(jià)格分次獲得公司增發(fā)的A股普通股股票，該等股票將在中國(guó)證券登記結(jié)算有限公司上海分公司進(jìn)行登記。激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票在歸屬前，不享有公司股東權(quán)利，并且該限制性股票不得轉(zhuǎn)讓、用于擔(dān)保或償還債務(wù)等。

??（二）標(biāo)的股票來源

??本計(jì)劃涉及的標(biāo)的股票來源為公司向激勵(lì)對(duì)象定向發(fā)行A股普通股股票。

??三、股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃擬授予的權(quán)益數(shù)量

??本激勵(lì)計(jì)劃擬向激勵(lì)對(duì)象授予400萬股限制性股票，約占本激勵(lì)計(jì)劃草案公告時(shí)公司股本總額61,624.45萬股的0.649%。本次授予為一次性授予，無預(yù)留權(quán)益。

??公司全部有效的激勵(lì)計(jì)劃所涉及的標(biāo)的股票總數(shù)累計(jì)不超過股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃提交股東大會(huì)時(shí)公司股本總額的20%。

??本激勵(lì)計(jì)劃公告日至激勵(lì)對(duì)象獲授限制性股票前，以及激勵(lì)對(duì)象獲授限制性股后至歸屬前，公司有資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)、配股、縮股等事項(xiàng)，應(yīng)對(duì)限制性股票授予數(shù)量進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

??四、激勵(lì)對(duì)象的確定依據(jù)、范圍及限制性股票分配情況

??（一）激勵(lì)對(duì)象的確定依據(jù)

??1．激勵(lì)對(duì)象確定的法律依據(jù)

??本激勵(lì)計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象根據(jù)《公司法》、《證券法》、《管理辦法》、《上市規(guī)則》、《監(jiān)管指南》等有關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)范性文件和《公司章程》的相關(guān)規(guī)定，結(jié)合公司實(shí)際情況而確定。

??2．激勵(lì)對(duì)象確定的職務(wù)依據(jù)

??本激勵(lì)計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象為公司董事、高級(jí)管理人員、核心技術(shù)人員及董事會(huì)認(rèn)為需要激勵(lì)的其他人員。激勵(lì)對(duì)象不包括公司獨(dú)立董事、監(jiān)事、單獨(dú)或合計(jì)持有上市公司5%以上股份的股東、上市公司實(shí)際控制人及其配偶、父母、子女。

??（二）激勵(lì)對(duì)象的范圍

??1．本激勵(lì)計(jì)劃涉及的激勵(lì)對(duì)象共計(jì)1104人，占公司全部職工人數(shù)的99.37%。

??包括：

??（1）公司董事；

??（2）高級(jí)管理人員；

??（3）核心技術(shù)人員；

??（4）董事會(huì)認(rèn)為需要激勵(lì)的其他人員。

??以上激勵(lì)對(duì)象中，所有激勵(lì)對(duì)象必須在公司授予限制性股票時(shí)和本激勵(lì)計(jì)劃的規(guī)定的考核期內(nèi)與公司或其分、子公司存在聘用或勞動(dòng)關(guān)系。

??2．以上激勵(lì)對(duì)象包含部分外籍員工，公司將其納入本激勵(lì)計(jì)劃的原因在于：外籍激勵(lì)對(duì)象在公司的技術(shù)研發(fā)、業(yè)務(wù)拓展等方面起到不可忽視的重要作用；股權(quán)激勵(lì)是境外公司常用的激勵(lì)手段，通過本次激勵(lì)計(jì)劃將更加促進(jìn)公司核心人才隊(duì)伍的建設(shè)和穩(wěn)定，從而有助于公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展。

??（三）激勵(lì)對(duì)象的核實(shí)

??1．本激勵(lì)計(jì)劃經(jīng)董事會(huì)審議通過后，公司將在內(nèi)部公示激勵(lì)對(duì)象的姓名和職務(wù)，公示期不少于10天。

??2．公司監(jiān)事會(huì)將對(duì)激勵(lì)對(duì)象名單進(jìn)行審核，充分聽取公示意見，并在公司股東大會(huì)審議本激勵(lì)計(jì)劃前5日披露監(jiān)事會(huì)對(duì)激勵(lì)對(duì)象名單審核及公示情況的說明。經(jīng)公司董事會(huì)調(diào)整的激勵(lì)對(duì)象名單亦應(yīng)經(jīng)公司監(jiān)事會(huì)核實(shí)。

??（四）激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票分配情況

??本激勵(lì)計(jì)劃授予的限制性股票在各激勵(lì)對(duì)象間的分配情況如下表所示：

??■

??注：1．上述任何一名激勵(lì)對(duì)象通過全部在有效期內(nèi)的股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃獲授的本公司股票均未超過公司總股本的1%。公司全部在有效期內(nèi)的激勵(lì)計(jì)劃所涉及的標(biāo)的股票總數(shù)累計(jì)不超過股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃提交股東大會(huì)時(shí)公司股本總額的20%。

??2．本計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象不包括獨(dú)立董事、監(jiān)事、單獨(dú)或合計(jì)持有上市公司5%以上股份的股東、上市公司實(shí)際控制人及其配偶、父母、子女。

??（五）在股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施過程中，激勵(lì)對(duì)象如發(fā)生《上市公司股權(quán)激勵(lì)管理辦法》及本激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的不得成為激勵(lì)對(duì)象情形的，該激勵(lì)對(duì)象不得被授予限制性股票，已獲授但尚未歸屬的限制性股票取消歸屬，并作廢失效。

??五、本次激勵(lì)計(jì)劃的有效期、授予日、歸屬安排和禁售期

??（一）本激勵(lì)計(jì)劃的有效期

??本激勵(lì)計(jì)劃有效期自限制性股票授予之日起至激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票全部歸屬或作廢失效之日止，***長(zhǎng)不超過60個(gè)月。

??（二）本激勵(lì)計(jì)劃的授予日

??授予日在本激勵(lì)計(jì)劃提交公司股東大會(huì)審議通過后由董事會(huì)確定。

??（三）本激勵(lì)計(jì)劃的歸屬安排

??本激勵(lì)計(jì)劃授予的限制性股票在激勵(lì)對(duì)象滿足相應(yīng)歸屬條件后將按約定比例分次歸屬，歸屬日必須為本激勵(lì)計(jì)劃有效期內(nèi)的交易日，但不得在下列期間內(nèi)歸屬：

??（1）公司年度報(bào)告、半年度報(bào)告公告前三十日內(nèi)，因特殊原因推遲公告日期的，自原預(yù)約公告日前三十日起算，至公告前一日；

??（2）公司季度報(bào)告、業(yè)績(jī)預(yù)告、業(yè)績(jī)快報(bào)公告前十日內(nèi)；

??（3）自可能對(duì)本公司證券及其衍生品種交易價(jià)格產(chǎn)生較大影響的重大事件發(fā)生之日或在決策過程中，至依法披露之日內(nèi)；

??（4）中國(guó)證監(jiān)會(huì)及上海證券交易所規(guī)定的其他期間。

??上述“重大事件”為公司依據(jù)《上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市規(guī)則》的規(guī)定應(yīng)當(dāng)披露的交易或其他重大事項(xiàng)。

??本激勵(lì)計(jì)劃授予的限制性股票的歸屬期限和歸屬比例安排具體如下：

??■

??激勵(lì)對(duì)象根據(jù)本激勵(lì)計(jì)劃獲授的限制性股票在歸屬前不得轉(zhuǎn)讓、用于擔(dān)保或償還債務(wù)。激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票由于資本公積金轉(zhuǎn)增股本、送股等情形增加的股份同時(shí)受歸屬條件約束，且歸屬之前不得轉(zhuǎn)讓、用于擔(dān)保或償還債務(wù)，若屆時(shí)限制性股票不得歸屬的，則因前述原因獲得的股份同樣不得歸屬。

??（四）本激勵(lì)計(jì)劃禁售期

??禁售期是指激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票歸屬后其售出限制的時(shí)間段。本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的獲授股票歸屬后不設(shè)置禁售期，激勵(lì)對(duì)象為公司董事、高級(jí)管理人員的，限售規(guī)定按照《公司法》、《證券法》、《上市公司股東、董監(jiān)高減持股份的若干規(guī)定》、《上海證券交易所上市公司股東及董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員減持股份實(shí)施細(xì)則》等相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)范性文件和《公司章程》的規(guī)定執(zhí)行，具體內(nèi)容如下：

??①激勵(lì)對(duì)象為公司董事和高級(jí)管理人員的，其在任職期間每年轉(zhuǎn)讓的股份不得超過其所持有本公司股份總數(shù)的25%，在離職后半年內(nèi)，不得轉(zhuǎn)讓其所持有的本公司股份。

??②激勵(lì)對(duì)象為公司董事和高級(jí)管理人員的，將其持有的本公司股票在買入后6個(gè)月內(nèi)賣出，或者在賣出后6個(gè)月內(nèi)又買入，由此所得收益歸本公司所有，本公司董事會(huì)將收回其所得收益。

??③在本激勵(lì)計(jì)劃有效期內(nèi)，如果《公司法》、《證券法》、《上市公司股東、董監(jiān)高減持股份的若干規(guī)定》、《上海證券交易所上市公司股東及董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員減持股份實(shí)施細(xì)則》等相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)范性文件和《公司章程》中對(duì)公司董事和高級(jí)管理人員持有股份轉(zhuǎn)讓的有關(guān)規(guī)定發(fā)生了變化，則這部分激勵(lì)對(duì)象轉(zhuǎn)讓其所持有的公司股票應(yīng)當(dāng)在轉(zhuǎn)讓時(shí)符合修改后的相關(guān)規(guī)定。

??六、限制性股票的授予價(jià)格及授予價(jià)格的確定方法

??（一）本次授予限制性股票的授予價(jià)格

??本次限制性股票的授予價(jià)格為每股50元，即滿足授予條件和歸屬條件后，激勵(lì)對(duì)象可以每股50元的價(jià)格購(gòu)買公司向激勵(lì)對(duì)象增發(fā)的公司A股普通股股票。

??（二）限制性股票授予價(jià)格的確定方法

??（1）定價(jià)方法

??授予價(jià)格依據(jù)本計(jì)劃公告前 1個(gè)交易日公司 A 股股票交易均價(jià)127.13元的39.33%確定，為每股50元。

??（一）本激勵(lì)計(jì)劃公告前20個(gè)交易日公司A股股票交易均價(jià)為每股124.30元，本次授予價(jià)格占前20個(gè)交易日交易均價(jià)的40.23%；

??（二）本激勵(lì)計(jì)劃公告前60個(gè)交易日公司A股股票交易均價(jià)為每股124.90元，本次授予價(jià)格占前60個(gè)交易日交易均價(jià)的40.03%；

??（三）本激勵(lì)計(jì)劃公告前120個(gè)交易日公司A股股票交易均價(jià)為每股141.22元，本次授予價(jià)格占前120個(gè)交易日交易均價(jià)的35.41%。

??（2）定價(jià)依據(jù)

??公司本次限制性股票的授予價(jià)格及定價(jià)方法，是以促進(jìn)公司發(fā)展、維護(hù)股東權(quán)益為根本目的，能夠保障公司股權(quán)激勵(lì)文化的連續(xù)性及本次激勵(lì)計(jì)劃的有效性，以進(jìn)一步穩(wěn)定和激勵(lì)公司員工，為公司持續(xù)健康發(fā)展提供機(jī)制保障。

??在公司所處半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈的背景下，公司團(tuán)隊(duì)的穩(wěn)定及***人才的招募是公司持續(xù)健康發(fā)展的重要保障。本激勵(lì)計(jì)劃是公司上市后第二期股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃，本激勵(lì)計(jì)劃授予價(jià)格總結(jié)了公司上市后首期激勵(lì)計(jì)劃經(jīng)驗(yàn)，有利于公司把握人才激勵(lì)的靈活性和有效性，能夠幫助公司在行業(yè)***人才競(jìng)爭(zhēng)中掌握主動(dòng)權(quán)，不斷增強(qiáng)自身核心競(jìng)爭(zhēng)力。本次股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃的定價(jià)基于約束與對(duì)等原則，綜合考慮了激勵(lì)計(jì)劃的有效性和公司股份支付費(fèi)用影響等因素，并合理確定了激勵(lì)對(duì)象范圍和授予權(quán)益數(shù)量，不會(huì)對(duì)公司經(jīng)營(yíng)造成負(fù)面影響，體現(xiàn)了公司實(shí)際激勵(lì)需求，具有合理性，且激勵(lì)對(duì)象未來的收益取決于公司未來業(yè)績(jī)發(fā)展和二級(jí)市場(chǎng)股價(jià)。

??綜上，在符合相關(guān)法律法規(guī)、規(guī)范性文件的基礎(chǔ)上，公司確定了本次激勵(lì)計(jì)劃的授予價(jià)格，此次激勵(lì)計(jì)劃的實(shí)施將更加穩(wěn)定團(tuán)隊(duì)，實(shí)現(xiàn)員工利益與股東利益的深度綁定。公司聘請(qǐng)的具有證券從業(yè)資質(zhì)的獨(dú)立財(cái)務(wù)顧問將對(duì)本計(jì)劃的可行性、相關(guān)定價(jià)依據(jù)和定價(jià)方法的合理性、是否有利于公司持續(xù)發(fā)展、是否損害股東利益等發(fā)表意見。具體詳見公司 2022 年3月10日披露在上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的《上海榮正投資咨詢股份有限公司關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）之獨(dú)立財(cái)務(wù)顧問報(bào)告》。

??七、限制性股票的授予與歸屬條件

??（一）限制性股票的授予條件

??同時(shí)滿足下列授予條件時(shí)，公司向激勵(lì)對(duì)象授予限制性股票，反之，若下列任一授予條件未達(dá)成的，則不能向激勵(lì)對(duì)象授予限制性股票。

??1．公司未發(fā)生如下任一情形：

??（1）***近一個(gè)會(huì)計(jì)年度財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)告被注冊(cè)會(huì)計(jì)師出具否定意見或者無法表示意見的審計(jì)報(bào)告；

??（2）***近一個(gè)會(huì)計(jì)年度財(cái)務(wù)報(bào)告內(nèi)部控制被注冊(cè)會(huì)計(jì)師出具否定意見或者無法表示意見的審計(jì)報(bào)告；

??（3）上市后***近36個(gè)月內(nèi)出現(xiàn)過未按法律法規(guī)、公司章程、公開承諾進(jìn)行利潤(rùn)分配的情形；

??（4）法律法規(guī)規(guī)定不得實(shí)行股權(quán)激勵(lì)的；

??（5）中國(guó)證監(jiān)會(huì)認(rèn)定的其他情形。

??2．激勵(lì)對(duì)象未發(fā)生如下任一情形：

??（1）***近12個(gè)月內(nèi)被證券交易所認(rèn)定為不適當(dāng)人選；

??（2）***近12個(gè)月內(nèi)被中國(guó)證監(jiān)會(huì)及其派出機(jī)構(gòu)認(rèn)定為不適當(dāng)人選；

??（3）***近12個(gè)月內(nèi)因重大違法違規(guī)行為被中國(guó)證監(jiān)會(huì)及其派出機(jī)構(gòu)行政處罰或者采取市場(chǎng)禁入措施；

??（4）具有《公司法》規(guī)定的不得擔(dān)任公司董事、高級(jí)管理人員情形的；

??（5）法律法規(guī)規(guī)定不得參與上市公司股權(quán)激勵(lì)的；

??（6）中國(guó)證監(jiān)會(huì)認(rèn)定的其他情形。

??（二）限制性股票的歸屬條件

??激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票需同時(shí)滿足以下歸屬條件方可分批次辦理歸屬事宜：

??1．公司未發(fā)生如下任一情形：

??（1）***近一個(gè)會(huì)計(jì)年度財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)告被注冊(cè)會(huì)計(jì)師出具否定意見或者無法表示意見的審計(jì)報(bào)告；

??（2）***近一個(gè)會(huì)計(jì)年度財(cái)務(wù)報(bào)告內(nèi)部控制被注冊(cè)會(huì)計(jì)師出具否定意見或者無法表示意見的審計(jì)報(bào)告；

??（3）上市后***近36個(gè)月內(nèi)出現(xiàn)過未按法律法規(guī)、公司章程、公開承諾進(jìn)行利潤(rùn)分配的情形；

??（4）法律法規(guī)規(guī)定不得實(shí)行股權(quán)激勵(lì)的；

??（5）中國(guó)證監(jiān)會(huì)認(rèn)定的其他情形。

??2．激勵(lì)對(duì)象未發(fā)生如下任一情形：

??（1）***近12個(gè)月內(nèi)被證券交易所認(rèn)定為不適當(dāng)人選；

??（2）***近12個(gè)月內(nèi)被中國(guó)證監(jiān)會(huì)及其派出機(jī)構(gòu)認(rèn)定為不適當(dāng)人選；

??（3）***近12個(gè)月內(nèi)因重大違法違規(guī)行為被中國(guó)證監(jiān)會(huì)及其派出機(jī)構(gòu)行政處罰或者采取市場(chǎng)禁入措施；

??（4）具有《公司法》規(guī)定的不得擔(dān)任公司董事、高級(jí)管理人員情形的；

??（5）法律法規(guī)規(guī)定不得參與上市公司股權(quán)激勵(lì)的；

??（6）中國(guó)證監(jiān)會(huì)認(rèn)定的其他情形。

??公司發(fā)生上述第1條規(guī)定情形之一的，所有激勵(lì)對(duì)象根據(jù)本激勵(lì)計(jì)劃已獲授但尚未歸屬的限制性股票取消歸屬，并作廢失效；若公司發(fā)生不得實(shí)施股權(quán)激勵(lì)的情形，且激勵(lì)對(duì)象對(duì)此負(fù)有責(zé)任的，或激勵(lì)對(duì)象發(fā)生上述第2條規(guī)定的不得被授予限制性股票的情形，該激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票取消歸屬，并作廢失效。

??3. 激勵(lì)對(duì)象滿足各歸屬期任職期限要求

??激勵(lì)對(duì)象獲授的各批次限制性股票在歸屬前，須滿足12個(gè)月以上的任職期限。

??4. 滿足公司層面業(yè)績(jī)考核要求

??本次激勵(lì)計(jì)劃授予的限制性股票考核年度為2022-2025四個(gè)會(huì)計(jì)年度，每個(gè)會(huì)計(jì)年度考核一次。以2021年度的營(yíng)業(yè)收入為基數(shù)，根據(jù)各考核年度的營(yíng)業(yè)收入定比2021年度營(yíng)業(yè)收入的營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率，確定各年度的業(yè)績(jī)考核目標(biāo)對(duì)應(yīng)的歸屬批次及公司層面歸屬比例。假設(shè)每個(gè)考核年度定比2021年度的營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率為X，各年度業(yè)績(jī)考核目標(biāo)安排如下表所示：

??■

??注：上述“營(yíng)業(yè)收入”以經(jīng)公司聘請(qǐng)的會(huì)計(jì)師事務(wù)所審計(jì)的合并報(bào)表所載數(shù)據(jù)為計(jì)算依據(jù)。

??5. 滿足激勵(lì)對(duì)象個(gè)人層面績(jī)效考核要求

??激勵(lì)對(duì)象的個(gè)人層面績(jī)效考核按照公司現(xiàn)行目標(biāo)管理（MBO）規(guī)定組織實(shí)施，并依照激勵(lì)對(duì)象的考核結(jié)果確定其實(shí)際歸屬的股份數(shù)量。激勵(lì)對(duì)象的績(jī)效考核結(jié)果劃分為五個(gè)檔次，屆時(shí)根據(jù)以下考核評(píng)級(jí)表中對(duì)應(yīng)的個(gè)人層面歸屬比例確定激勵(lì)對(duì)象的實(shí)際歸屬的股份數(shù)量：

??■

??激勵(lì)對(duì)象當(dāng)年實(shí)際歸屬的限制性股票數(shù)量=個(gè)人當(dāng)年計(jì)劃歸屬的數(shù)量×公司層面歸屬比例×個(gè)人層面歸屬比例。

??激勵(lì)對(duì)象當(dāng)期計(jì)劃歸屬的限制性股票因考核原因不能歸屬或不能完全歸屬的，作廢失效，不可遞延至下一年度。

??（三）考核指標(biāo)的科學(xué)性和合理性說明

??本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃考核指標(biāo)分為兩個(gè)層面，分別為公司層面業(yè)績(jī)考核、個(gè)人層面績(jī)效考核。

??公司層面業(yè)績(jī)考核指標(biāo)為營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率，營(yíng)業(yè)收入及增長(zhǎng)率指標(biāo)是衡量企業(yè)經(jīng)營(yíng)狀況、成長(zhǎng)性、市場(chǎng)占有率、預(yù)測(cè)企業(yè)未來業(yè)務(wù)拓展趨勢(shì)的重要標(biāo)志。公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過向下游集成電路、LED外延片、***封裝、MEMS等半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造公司銷售刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備、提供配件及服務(wù)實(shí)現(xiàn)收入。近年來全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣度提升，公司2020年、2021年?duì)I業(yè)收入分別超過22億元、31億元（公司2021年業(yè)績(jī)快報(bào)公告值），公司近年?duì)I業(yè)收入保持持續(xù)增長(zhǎng)。半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是一個(gè)全球化程度較高的行業(yè)，受國(guó)際經(jīng)濟(jì)波動(dòng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、終端消費(fèi)市場(chǎng)需求影響，其發(fā)展呈現(xiàn)一定的周期性波動(dòng)。當(dāng)宏觀經(jīng)濟(jì)和終端消費(fèi)市場(chǎng)需求變化較大時(shí)，可能會(huì)對(duì)公司營(yíng)業(yè)收入產(chǎn)生一定影響。在此背景下，公司根據(jù)行業(yè)發(fā)展特點(diǎn)和實(shí)際情況，以2021年?duì)I業(yè)收入作為基數(shù)，2022-2025年分別設(shè)置了不低于20%、45%、70%、100%的營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率考核目標(biāo)，并設(shè)置了階梯歸屬考核模式，實(shí)現(xiàn)業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)水平與權(quán)益歸屬比例的動(dòng)態(tài)調(diào)整。上述指標(biāo)在結(jié)合公司所處行業(yè)狀況的基礎(chǔ)上綜合考慮了公司的歷史業(yè)績(jī)及未來發(fā)展規(guī)劃，有利于公司保持競(jìng)爭(zhēng)力，促使公司戰(zhàn)略目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)。

??除公司層面的業(yè)績(jī)考核外，公司對(duì)個(gè)人還設(shè)置了嚴(yán)密的績(jī)效考核體系，能夠?qū)?lì)對(duì)象的工作績(jī)效做出較為準(zhǔn)確、***的綜合評(píng)價(jià)。公司將根據(jù)激勵(lì)對(duì)象前一年度績(jī)效考評(píng)結(jié)果，確定激勵(lì)對(duì)象個(gè)人是否達(dá)到歸屬的條件。

??綜上，公司本次激勵(lì)計(jì)劃的考核體系具有***性、綜合性及可操作性，考核指標(biāo)設(shè)定具有良好的科學(xué)性和合理性，同時(shí)對(duì)激勵(lì)對(duì)象具有約束效果，能夠達(dá)到本次激勵(lì)計(jì)劃的考核目的。

??八、限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的實(shí)施程序

??（一）限制性股票激勵(lì)計(jì)劃生效程序

??1．公司董事會(huì)薪酬與考核委員會(huì)負(fù)責(zé)擬定本激勵(lì)計(jì)劃草案及摘要。

??2．公司董事會(huì)應(yīng)當(dāng)依法對(duì)本激勵(lì)計(jì)劃作出決議。董事會(huì)審議本激勵(lì)計(jì)劃時(shí)，作為激勵(lì)對(duì)象的董事或與其存在關(guān)聯(lián)關(guān)系的董事應(yīng)當(dāng)回避表決。董事會(huì)應(yīng)當(dāng)在審議通過本激勵(lì)計(jì)劃并履行公示、公告程序后，將本激勵(lì)計(jì)劃提交股東大會(huì)審議；同時(shí)提請(qǐng)股東大會(huì)授權(quán)，負(fù)責(zé)實(shí)施限制性股票的授予、歸屬（登記）工作。

??3．獨(dú)立董事及監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)就本激勵(lì)計(jì)劃是否有利于公司持續(xù)發(fā)展，是否存在明顯損害公司及全體股東利益的情形發(fā)表意見。公司將聘請(qǐng)獨(dú)立財(cái)務(wù)顧問對(duì)本激勵(lì)計(jì)劃的可行性、是否有利于公司的持續(xù)發(fā)展、是否損害公司利益以及對(duì)股東利益的影響發(fā)表專業(yè)意見。公司聘請(qǐng)的律師對(duì)本激勵(lì)計(jì)劃出具法律意見書。

??4．本激勵(lì)計(jì)劃經(jīng)公司股東大會(huì)審議通過后方可實(shí)施。公司應(yīng)當(dāng)在召開股東大會(huì)前，通過公司網(wǎng)站或者其他途徑，在公司內(nèi)部公示激勵(lì)對(duì)象的姓名和職務(wù)（公示期不少于10天）。監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)對(duì)股權(quán)激勵(lì)名單進(jìn)行審核，充分聽取公示意見。公司應(yīng)當(dāng)在股東大會(huì)審議本激勵(lì)計(jì)劃前5日披露監(jiān)事會(huì)對(duì)激勵(lì)名單審核及公示情況的說明。

??5．公司股東大會(huì)在對(duì)本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃進(jìn)行投票表決時(shí)，獨(dú)立董事應(yīng)當(dāng)就本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃向所有的股東征集委托投票權(quán)。股東大會(huì)應(yīng)當(dāng)對(duì)《管理辦法》第九條規(guī)定的股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃內(nèi)容進(jìn)行表決，并經(jīng)出席會(huì)議的股東所持表決權(quán)的2/3以上通過，單獨(dú)統(tǒng)計(jì)并披露除公司董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員、單獨(dú)或合計(jì)持有公司5%以上股份的股東以外的其他股東的投票情況。

??公司股東大會(huì)審議股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃時(shí)，作為激勵(lì)對(duì)象的股東或者與激勵(lì)對(duì)象存在關(guān)聯(lián)關(guān)系的股東，應(yīng)當(dāng)回避表決。

??6．本激勵(lì)計(jì)劃經(jīng)公司股東大會(huì)審議通過，且達(dá)到本激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的授予條件時(shí)，公司在規(guī)定時(shí)間內(nèi)向激勵(lì)對(duì)象授予限制性股票。經(jīng)股東大會(huì)授權(quán)后，董事會(huì)負(fù)責(zé)實(shí)施限制性股票的授予和歸屬事宜。

??（二）限制性股票的授予程序

??1．股東大會(huì)審議通過本激勵(lì)計(jì)劃且董事會(huì)通過向激勵(lì)對(duì)象授予權(quán)益的決議后，公司與激勵(lì)對(duì)象簽署《限制性股票授予協(xié)議書》，以約定雙方的權(quán)利義務(wù)關(guān)系。

??2．公司在向激勵(lì)對(duì)象授出權(quán)益前，董事會(huì)應(yīng)當(dāng)就股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃設(shè)定的激勵(lì)對(duì)象獲授權(quán)益的條件是否成就進(jìn)行審議并公告。獨(dú)立董事及監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)同時(shí)發(fā)表明確意見。律師事務(wù)所應(yīng)當(dāng)對(duì)激勵(lì)對(duì)象獲授權(quán)益的條件是否成就出具法律意見書。

??3．公司監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)對(duì)限制性股票授予日及激勵(lì)對(duì)象名單進(jìn)行核實(shí)并發(fā)表意見。

??4．公司向激勵(lì)對(duì)象授出權(quán)益與股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃的安排存在差異時(shí)，獨(dú)立董事、監(jiān)事會(huì)（當(dāng)激勵(lì)對(duì)象發(fā)生變化時(shí)）、律師事務(wù)所應(yīng)當(dāng)同時(shí)發(fā)表明確意見。

??5．股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃經(jīng)股東大會(huì)審議通過后，公司應(yīng)當(dāng)在60日內(nèi)授予激勵(lì)對(duì)象限制性股票并完成公告。若公司未能在60日內(nèi)完成授予公告的，本激勵(lì)計(jì)劃終止實(shí)施，董事會(huì)應(yīng)當(dāng)及時(shí)披露未完成的原因且3個(gè)月內(nèi)不得再次審議股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃（根據(jù)《管理辦法》及相關(guān)法律法規(guī)規(guī)定上市公司不得授出限制性股票的期間不計(jì)算在60日內(nèi)）。

??（三）限制性股票的歸屬程序

??1．公司董事會(huì)應(yīng)當(dāng)在限制性股票歸屬前，就股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃設(shè)定的激勵(lì)對(duì)象歸屬條件是否成就進(jìn)行審議，獨(dú)立董事及監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)同時(shí)發(fā)表明確意見，律師事務(wù)所應(yīng)當(dāng)對(duì)激勵(lì)對(duì)象行使權(quán)益的條件是否成就出具法律意見。對(duì)于滿足歸屬條件的激勵(lì)對(duì)象，由公司統(tǒng)一辦理歸屬事宜，對(duì)于未滿足歸屬條件的激勵(lì)對(duì)象，當(dāng)批次對(duì)應(yīng)的限制性股票取消歸屬，并作廢失效。上市公司應(yīng)當(dāng)在激勵(lì)對(duì)象歸屬后及時(shí)披露董事會(huì)決議公告，同時(shí)公告獨(dú)立董事、監(jiān)事會(huì)、律師事務(wù)所意見及相關(guān)實(shí)施情況的公告。

??2．公司統(tǒng)一辦理限制性股票的歸屬事宜前，應(yīng)當(dāng)向證券交易所提出申請(qǐng)，經(jīng)證券交易所確認(rèn)后，由證券登記結(jié)算機(jī)構(gòu)辦理股份歸屬事宜。

??九、限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的調(diào)整方法和程序

??（一）限制性股票授予數(shù)量及歸屬數(shù)量的調(diào)整方法

??本激勵(lì)計(jì)劃公告日至激勵(lì)對(duì)象獲授限制性股票前，以及激勵(lì)對(duì)象獲授限制性股后至歸屬前，公司有資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)、配股、縮股等事項(xiàng)，應(yīng)對(duì)限制性股票授予數(shù)量進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。調(diào)整方法如下：

??1．資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)

??Q＝Q0×（1＋n）

??其中：Q0為調(diào)整前的限制性股票授予/歸屬數(shù)量；n為每股的資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)的比率（即每股股票經(jīng)轉(zhuǎn)增、送股或拆細(xì)后增加的股票數(shù)量）；Q為調(diào)整后的限制性股票授予/歸屬數(shù)量。

??2．配股

??Q＝Q0×P1×（1＋n）÷（P1＋P2×n）

??其中：Q0為調(diào)整前的限制性股票授予/歸屬數(shù)量；P1為股權(quán)登記日當(dāng)日收盤價(jià)；P2為配股價(jià)格；n為配股的比例（即配股的股數(shù)與配股前公司總股本的比例）；Q為調(diào)整后的限制性股票授予/歸屬數(shù)量。

??3．縮股

??Q＝Q0×n

??其中：Q0為調(diào)整前的限制性股票授予/歸屬數(shù)量；n為縮股比例（即1股公司股票縮為n股股票）；Q為調(diào)整后的限制性股票授予/歸屬數(shù)量。

??4．增發(fā)

??公司在發(fā)生增發(fā)新股的情況下，限制性股票授予/歸屬數(shù)量不做調(diào)整。

??（二）限制性股票授予價(jià)格的調(diào)整方法

??本激勵(lì)計(jì)劃公告日至激勵(lì)對(duì)象獲授限制性股票前，以及激勵(lì)對(duì)象獲授限制性股后至歸屬前，公司有資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)、配股、縮股或派息等事項(xiàng)，應(yīng)對(duì)限制性股票的授予價(jià)格進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。調(diào)整方法如下：

??1．資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)

??P＝P0÷（1＋n）

??其中：P0為調(diào)整前的授予價(jià)格；n為每股的資本公積轉(zhuǎn)增股本、派送股票紅利、股份拆細(xì)的比率；P為調(diào)整后的授予價(jià)格。

??2．配股

??P＝P0×（P1＋P2×n）÷[P1×（1＋n）]

??其中：P0為調(diào)整前的授予價(jià)格；P1為股權(quán)登記日當(dāng)日收盤價(jià)；P2為配股價(jià)格；n為配股的比例（即配股的股數(shù)與配股前股份公司總股本的比例）；P為調(diào)整后的授予價(jià)格。

??3．縮股

??P＝P0÷n

??其中：P0為調(diào)整前的授予/歸屬價(jià)格；n為縮股比例；P為調(diào)整后的授予價(jià)格。

??4．派息

??P＝P0-V

??其中：P0為調(diào)整前的授予價(jià)格；V為每股的派息額；P為調(diào)整后的授予價(jià)格。經(jīng)派息調(diào)整后，P仍須大于1。

??5．增發(fā)

??公司在發(fā)生增發(fā)新股的情況下，限制性股票的授予價(jià)格不做調(diào)整。

??（三）限制性股票激勵(lì)計(jì)劃調(diào)整的程序

??當(dāng)出現(xiàn)上述情況時(shí)，應(yīng)由公司董事會(huì)審議通過關(guān)于調(diào)整限制性股票授予/歸屬數(shù)量、授予/歸屬價(jià)格的議案（因上述情形以外的事項(xiàng)需調(diào)整限制性股票授予/歸屬數(shù)量和價(jià)格的，除董事會(huì)審議相關(guān)議案外，必須提交公司股東大會(huì)審議）。公司應(yīng)聘請(qǐng)律師就上述調(diào)整是否符合《管理辦法》、《公司章程》和本激勵(lì)計(jì)劃的規(guī)定向公司董事會(huì)出具專業(yè)意見。調(diào)整議案經(jīng)董事會(huì)審議通過后，公司應(yīng)當(dāng)及時(shí)披露董事會(huì)決議公告，同時(shí)公告法律意見書。

??十、限制性股票的會(huì)計(jì)處理

??按照《企業(yè)會(huì)計(jì)準(zhǔn)則第11號(hào)一一股份支付》和《企業(yè)會(huì)計(jì)準(zhǔn)則第22號(hào)一一金融工具確認(rèn)和計(jì)量》的規(guī)定，公司將在授予日至歸屬日期間的每個(gè)資產(chǎn)負(fù)債表日，根據(jù)***新取得的可歸屬的人數(shù)變動(dòng)、業(yè)績(jī)指標(biāo)完成情況等后續(xù)信息，修正預(yù)計(jì)可歸屬限制性股票的數(shù)量，并按照限制性股票授予日的公允價(jià)值，將當(dāng)期取得的服務(wù)計(jì)入相關(guān)成本或費(fèi)用和資本公積。

??（一）限制性股票的公允價(jià)值及確定方法

??參照中華人民共和國(guó)財(cái)政部會(huì)計(jì)司《股份支付準(zhǔn)則應(yīng)用案例-授予限制性股票》，第二類限制性股票股份支付費(fèi)用的計(jì)量參照股票期權(quán)執(zhí)行。根據(jù)《企業(yè)會(huì)計(jì)準(zhǔn)則第11號(hào)-股份支付》和《企業(yè)會(huì)計(jì)準(zhǔn)則第22號(hào)-金融工具確認(rèn)和計(jì)量》的相關(guān)規(guī)定，公司選擇Black-Scholes模型計(jì)算第二類限制性股票的公允價(jià)值，并于2022年3月9日用該模型對(duì)本次授予的400萬股第二類限制性股票進(jìn)行預(yù)測(cè)算（授予時(shí)進(jìn)行正式測(cè)算）。具體參數(shù)選取如下：

??1、標(biāo)的股價(jià)：128.14元/股（假設(shè)公司授權(quán)日收盤價(jià)為2022年3月9日收盤價(jià)）；

??2、有效期分別為：12個(gè)月、24個(gè)月、36個(gè)月、48個(gè)月（第二類限制性股票授予之日至每期歸屬日的期限）；

??3、歷史波動(dòng)率：33.8891%、37.3481%、36.9537%、38.7217%（采用申萬-半導(dǎo)體行業(yè)指數(shù)截至2022年3月9日***近12個(gè)月、24個(gè)月、36個(gè)月、48個(gè)月的波動(dòng)率）；

??4、無風(fēng)險(xiǎn)利率：1.50%、2.10%、2.75%（分別采用中國(guó)人民銀行制定的金融機(jī)構(gòu)1年期、2年期、3年期存款基準(zhǔn)利率）；

??5、股息率：0%（采用公司截至2022年3月9日***近1年的股息率）。

??（二）預(yù)計(jì)限制性股票實(shí)施對(duì)各期經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)的影響

??公司按照會(huì)計(jì)準(zhǔn)則的規(guī)定確定授予日限制性股票的公允價(jià)值，并***終確認(rèn)本激勵(lì)計(jì)劃的股份支付費(fèi)用，該等費(fèi)用將在本激勵(lì)計(jì)劃的實(shí)施過程中按歸屬安排的比例攤銷。由本激勵(lì)計(jì)劃產(chǎn)生的激勵(lì)成本將在經(jīng)常性損益中列支。

??假設(shè)2022年4月授予，則2022年-2026年限制性股票成本攤銷情況如下： （單位：萬元）：

??■

??注：1、上述計(jì)算結(jié)果并不代表***終的會(huì)計(jì)成本，實(shí)際會(huì)計(jì)成本與授予日、授予價(jià)格和歸屬數(shù)量相關(guān)，激勵(lì)對(duì)象在歸屬前離職、公司業(yè)績(jī)考核或個(gè)人績(jī)效考核達(dá)不到對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)會(huì)相應(yīng)減少實(shí)際歸屬數(shù)量從而減少股份支付費(fèi)用。同時(shí)，公司提醒股東注意可能產(chǎn)生的攤薄影響。2、上述對(duì)公司經(jīng)營(yíng)成果影響的***終結(jié)果將以會(huì)計(jì)師事務(wù)所出具的年度審計(jì)報(bào)告為準(zhǔn)。

??公司以目前信息初步估計(jì)，限制性股票費(fèi)用的攤銷對(duì)有效期內(nèi)各年凈利潤(rùn)有所影響。但同時(shí)此次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施后，將進(jìn)一步提升員工的凝聚力、團(tuán)隊(duì)穩(wěn)定性，并有效激發(fā)管理團(tuán)隊(duì)的積極性，從而提高經(jīng)營(yíng)效率，提升公司的內(nèi)在價(jià)值。

??十一、公司與激勵(lì)對(duì)象各自的權(quán)利義務(wù)、爭(zhēng)議解決機(jī)制

??（一）公司的權(quán)利與義務(wù)

??1．公司具有對(duì)本激勵(lì)計(jì)劃的解釋和執(zhí)行權(quán)，并按本激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定對(duì)激勵(lì)對(duì)象進(jìn)行績(jī)效考核，若激勵(lì)對(duì)象未達(dá)到本激勵(lì)計(jì)劃所確定的歸屬條件，公司將按本激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的原則，對(duì)激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未登記的限制性股票取消歸屬，并作廢失效。

??2．公司承諾不為激勵(lì)對(duì)象依本激勵(lì)計(jì)劃獲取有關(guān)限制性股票提供貸款以及其他任何形式的財(cái)務(wù)資助，包括為其貸款提供擔(dān)保。

??3．公司應(yīng)及時(shí)按照有關(guān)規(guī)定履行限制性股票激勵(lì)計(jì)劃申報(bào)、信息披露等義務(wù)。

??4．公司應(yīng)當(dāng)根據(jù)本激勵(lì)計(jì)劃及中國(guó)證監(jiān)會(huì)、上海證券交易所、中國(guó)證券登記結(jié)算有限責(zé)任公司等的有關(guān)規(guī)定，積極配合滿足歸屬條件的激勵(lì)對(duì)象按規(guī)定進(jìn)行限制性股票的歸屬操作。但若因中國(guó)證監(jiān)會(huì)、上海證券交易所、中國(guó)證券登記結(jié)算有限責(zé)任公司的原因造成激勵(lì)對(duì)象未能歸屬并給激勵(lì)對(duì)象造成損失的，公司不承擔(dān)責(zé)任。

??5．若激勵(lì)對(duì)象因觸犯法律、違反職業(yè)道德、泄露公司機(jī)密、失職或?yàn)^職等行為嚴(yán)重?fù)p害公司利益或聲譽(yù)，經(jīng)董事會(huì)薪酬委員會(huì)審議并報(bào)公司董事會(huì)批準(zhǔn)，公司可以對(duì)激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票取消歸屬，并作廢失效。情節(jié)嚴(yán)重的，公司還可就公司因此遭受的損失按照有關(guān)法律的規(guī)定進(jìn)行追償。

??（二）激勵(lì)對(duì)象的權(quán)利與義務(wù)

??1．激勵(lì)對(duì)象應(yīng)當(dāng)按公司所聘崗位的要求，勤勉盡責(zé)、恪守職業(yè)道德，為公司的發(fā)展做出應(yīng)有貢獻(xiàn)。

??2．激勵(lì)對(duì)象的資金來源為激勵(lì)對(duì)象自籌資金。

??3．激勵(lì)對(duì)象獲授的限制性股票在歸屬前不得轉(zhuǎn)讓、擔(dān)保或用于償還債務(wù)。

??4．激勵(lì)對(duì)象因激勵(lì)計(jì)劃獲得的收益，應(yīng)按國(guó)家稅收法規(guī)交納個(gè)人所得稅及其它稅費(fèi)。

??5．激勵(lì)對(duì)象承諾，若公司因信息披露文件中有虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，導(dǎo)致不符合授予權(quán)益或歸屬安排的，激勵(lì)對(duì)象應(yīng)當(dāng)自相關(guān)信息披露文件被確認(rèn)存在虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏后，將由股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃所獲得的全部利益返還公司。

??6．股東大會(huì)審議通過本激勵(lì)計(jì)劃且董事會(huì)通過向激勵(lì)對(duì)象授予權(quán)益的決議后，公司應(yīng)與激勵(lì)對(duì)象簽署《限制性股票授予協(xié)議書》，以約定雙方的權(quán)利義務(wù)及其他相關(guān)事項(xiàng)。

??7．法律、法規(guī)及本激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的其他相關(guān)權(quán)利義務(wù)。

??（三）公司與激勵(lì)對(duì)象之間爭(zhēng)議或糾紛的解決機(jī)制

??公司與激勵(lì)對(duì)象之間因執(zhí)行本激勵(lì)計(jì)劃及/或雙方簽訂的《限制性股票授予協(xié)議書》所發(fā)生的或與本激勵(lì)計(jì)劃及/或《限制性股票授予協(xié)議書》相關(guān)的爭(zhēng)議或糾紛，雙方應(yīng)通過協(xié)商、溝通解決，或通過公司董事會(huì)薪酬與考核委員會(huì)調(diào)解解決。若自爭(zhēng)議或糾紛發(fā)生之日起60日內(nèi)雙方未能通過上述方式解決或通過上述方式未能解決相關(guān)爭(zhēng)議或糾紛，任何一方均有權(quán)向公司所在地有管轄權(quán)的人民法院提起訴訟解決。

??十二、股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃變更與終止、公司/激勵(lì)對(duì)象發(fā)生異動(dòng)的處理

??（一）本激勵(lì)計(jì)劃變更與終止的一般程序

??1．本激勵(lì)計(jì)劃的變更程序

??（1）公司在股東大會(huì)審議本激勵(lì)計(jì)劃之前擬變更本激勵(lì)計(jì)劃的，需經(jīng)董事會(huì)審議通過。

??（2）公司在股東大會(huì)審議通過本激勵(lì)計(jì)劃之后變更本激勵(lì)計(jì)劃的，應(yīng)當(dāng)由股東大會(huì)審議決定，且不得包括下列情形：

??①導(dǎo)致提前歸屬的情形；

??②降低授予/歸屬價(jià)格的情形（因資本公積轉(zhuǎn)增股份、派送股票紅利、配股等原因?qū)е陆档褪谟?歸屬價(jià)格情形除外）。

??（3）公司獨(dú)立董事、監(jiān)事會(huì)應(yīng)當(dāng)就變更后的方案是否有利于公司的持續(xù)發(fā)展，是否存在明顯損害公司及全體股東利益的情形發(fā)表獨(dú)立意見。律師事務(wù)所應(yīng)當(dāng)就變更后的方案是否符合《管理辦法》及相關(guān)法律法規(guī)的規(guī)定、是否存在明顯損害公司及全體股東利益的情形發(fā)表專業(yè)意見。

??2．本激勵(lì)計(jì)劃的終止程序

??（1）公司在股東大會(huì)審議本激勵(lì)計(jì)劃之前擬終止實(shí)施本激勵(lì)計(jì)劃的，需經(jīng)董事會(huì)審議通過。

??（2）公司在股東大會(huì)審議通過本激勵(lì)計(jì)劃之后終止實(shí)施本激勵(lì)計(jì)劃的，應(yīng)當(dāng)由股東大會(huì)審議決定。

??（3）律師事務(wù)所應(yīng)當(dāng)就公司終止實(shí)施激勵(lì)是否符合本辦法及相關(guān)法律法規(guī)的規(guī)定、是否存在明顯損害公司及全體股東利益的情形發(fā)表專業(yè)意見。

??（二）公司/激勵(lì)對(duì)象發(fā)生異動(dòng)的處理

??1．公司發(fā)生異動(dòng)的處理

??（1）公司出現(xiàn)下列情形之一的，本激勵(lì)計(jì)劃終止實(shí)施，對(duì)激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票取消歸屬：

??①***近一個(gè)會(huì)計(jì)年度財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)告被注冊(cè)會(huì)計(jì)師出具否定意見或者無法表示意見的審計(jì)報(bào)告；

??②***近一個(gè)會(huì)計(jì)年度財(cái)務(wù)報(bào)告內(nèi)部控制被注冊(cè)會(huì)計(jì)師出具否定意見或者無法表示意見的審計(jì)報(bào)告；

??③上市后***近36個(gè)月內(nèi)出現(xiàn)過未按法律法規(guī)、公司章程、公開承諾進(jìn)行利潤(rùn)分配的情形；

??④法律法規(guī)規(guī)定不得實(shí)行股權(quán)激勵(lì)的情形；

??⑤中國(guó)證監(jiān)會(huì)認(rèn)定的其他需要終止激勵(lì)計(jì)劃的情形。

??（2）公司出現(xiàn)下列情形之一的，本計(jì)劃不做變更：

??①公司控制權(quán)發(fā)生變更，但未觸發(fā)重大資產(chǎn)重組；

??②公司出現(xiàn)合并、分立的情形，公司仍然存續(xù)。

??（3）公司出現(xiàn)下列情形之一的，由公司股東大會(huì)決定本計(jì)劃是否作出相應(yīng)變更或調(diào)整：

??①公司控制權(quán)發(fā)生變更且觸發(fā)重大資產(chǎn)重組；

??②公司出現(xiàn)合并、分立的情形，且公司不再存續(xù)。

??（4）公司因信息披露文件有虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，導(dǎo)致不符合限制性股票授予條件或歸屬條件的，激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票不得歸屬；已歸屬的限制性股票，應(yīng)當(dāng)返還其已獲授權(quán)益。董事會(huì)應(yīng)當(dāng)按照前款規(guī)定收回激勵(lì)對(duì)象所得收益。若激勵(lì)對(duì)象對(duì)上述事宜不負(fù)有責(zé)任且因返還權(quán)益而遭受損失的，激勵(lì)對(duì)象可向公司或負(fù)有責(zé)任的對(duì)象進(jìn)行追償。

??2．激勵(lì)對(duì)象個(gè)人情況發(fā)生變化

??（1）激勵(lì)對(duì)象發(fā)生職務(wù)變更，但仍在公司或在公司下屬子公司內(nèi)任職的，其獲授的限制性股票將按照職務(wù)變更前本激勵(lì)計(jì)劃規(guī)定的程序辦理歸屬；但是，激勵(lì)對(duì)象因不能勝任崗位工作、觸犯法律、違反執(zhí)業(yè)道德、泄露公司機(jī)密、失職或?yàn)^職、嚴(yán)重違反公司制度等行為損害公司利益或聲譽(yù)而導(dǎo)致的職務(wù)變更，或因前列原因?qū)е鹿净蚱渥庸窘獬c激勵(lì)對(duì)象勞動(dòng)關(guān)系的，激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票不得歸屬，并作廢失效。

??（2）激勵(lì)對(duì)象離職的，包括主動(dòng)辭職、因公司裁員而離職、合同到期不再續(xù)約、因個(gè)人過錯(cuò)公司解聘、協(xié)商解除勞動(dòng)合同或聘用協(xié)議、因喪失勞動(dòng)能力離職等情形，自離職之日起激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票不得歸屬，并作廢失效。激勵(lì)對(duì)象離職前需要向公司支付完畢已歸屬限制性股票所涉及的個(gè)人所得稅。個(gè)人過錯(cuò)包括但不限于以下行為：違反了與公司或其關(guān)聯(lián)公司簽訂的雇傭合同、保密協(xié)議、競(jìng)業(yè)禁止協(xié)議或任何其他類似協(xié)議；違反了居住國(guó)家的法律，導(dǎo)致刑事犯罪或其他影響履職的惡劣情況等。

??（3）激勵(lì)對(duì)象按照國(guó)家法規(guī)及公司規(guī)定正常退休，自退休之日起激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票不得歸屬，并作廢失效。退休后返聘到公司任職或以其他形式繼續(xù)為公司提供勞動(dòng)服務(wù)的激勵(lì)對(duì)象，其獲授的限制性股票按照退休后新簽署的聘用合同的約定辦理歸屬。

??（4）激勵(lì)對(duì)象身故的，在自情況發(fā)生之日起，激勵(lì)對(duì)象已獲授但尚未歸屬的限制性股票不得歸屬。

??（5）本激勵(lì)計(jì)劃未規(guī)定的其它情況由公司董事會(huì)認(rèn)定，并確定其處理方式。

??十三、上網(wǎng)公告附件

??（一）《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）》；

??（二）《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法》；

??（三）中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司獨(dú)立董事關(guān)于第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議的獨(dú)立意見；

??（四）上海榮正投資咨詢股份有限公司關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）之獨(dú)立財(cái)務(wù)顧問報(bào)告；

??（五）上海市錦天誠(chéng)律師事務(wù)所關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃(草案)之法律意見書；

??（六）中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司監(jiān)事會(huì)關(guān)于公司2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）及其摘要的核查意見。

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事會(huì)

??2022年3月10日

??證券代碼：688012 證券簡(jiǎn)稱：中微公司 公告編號(hào)：2022-005

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??第二屆監(jiān)事會(huì)第二次會(huì)議決議公告

??本公司監(jiān)事會(huì)及全體監(jiān)事保證本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

??一、監(jiān)事會(huì)會(huì)議召開情況

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”或“公司”）第二屆監(jiān)事會(huì)第二次會(huì)議于2022年3月9日在公司會(huì)議室以現(xiàn)場(chǎng)結(jié)合通訊會(huì)議方式召開。本次會(huì)議的通知于2022年3月2日通過電話及郵件方式送達(dá)全體監(jiān)事。會(huì)議應(yīng)出席監(jiān)事3人，實(shí)際到會(huì)監(jiān)事3人，會(huì)議由監(jiān)事會(huì)主席鄒非女士主持。會(huì)議的召集和召開程序符合有關(guān)法律、行政法規(guī)、部門規(guī)章、規(guī)范性文件和公司章程的規(guī)定，會(huì)議決議合法有效。

??二、監(jiān)事會(huì)會(huì)議審議情況

??（一）審議通過《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）〉及其摘要的議案》

??公司《2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）》及其摘要的內(nèi)容符合《中華人民共和國(guó)公司法》《中華人民共和國(guó)證券法》《上市公司股權(quán)激勵(lì)管理辦法》《上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市規(guī)則》《科創(chuàng)板上市公司自律監(jiān)管指南第4號(hào)一一股權(quán)激勵(lì)信息披露》等相關(guān)法律、法規(guī)和規(guī)范性文件的規(guī)定。本次激勵(lì)計(jì)劃的實(shí)施將有利于公司的持續(xù)發(fā)展，不存在損害公司及全體股東利益的情形，因此，同意實(shí)施2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃。

??表決結(jié)果：3票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)。

??本議案尚需提交公司股東大會(huì)審議。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??（二）審議通過《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法〉的議案》

??公司《2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法》符合相關(guān)法律、法規(guī)的規(guī)定以及公司的實(shí)際情況，能促進(jìn)公司進(jìn)一步完善治理結(jié)構(gòu)，形成良好、均衡的價(jià)值分配體系，建立股東與公司員工之間的利益共享與約束機(jī)制。

??表決結(jié)果：3票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)。

??本議案尚需提交公司股東大會(huì)審議。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??（三）審議通過《關(guān)于核實(shí)公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象名單〉的議案》

??列入公司本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象名單的人員具備《中華人民共和國(guó)公司法》等法律、法規(guī)和規(guī)范性文件及《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司章程》規(guī)定的任職資格，不存在***近12個(gè)月內(nèi)被證券交易所認(rèn)定為不適當(dāng)人選的情形；不存在***近12個(gè)月內(nèi)被中國(guó)證監(jiān)會(huì)及其派出機(jī)構(gòu)認(rèn)定為不適當(dāng)人選的情形；不存在***近12個(gè)月內(nèi)因重大違法違規(guī)行為被中國(guó)證監(jiān)會(huì)及其派出機(jī)構(gòu)行政處罰或者采取市場(chǎng)禁入措施的情形；不存在具有《中華人民共和國(guó)公司法》規(guī)定的不得擔(dān)任公司董事、高級(jí)管理人員的情形；不存在具有法律法規(guī)規(guī)定不得參與上市公司股權(quán)激勵(lì)的情形，符合《上市公司股權(quán)激勵(lì)管理辦法》《上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市規(guī)則》規(guī)定的激勵(lì)對(duì)象條件，符合公司《2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）》及其摘要規(guī)定的激勵(lì)對(duì)象范圍，其作為公司本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃激勵(lì)對(duì)象的主體資格合法、有效。

??公司將在召開股東大會(huì)前，通過公司網(wǎng)站或其他途徑，在公司內(nèi)部公示激勵(lì)對(duì)象的姓名和職務(wù)，公示期不少于10天。監(jiān)事會(huì)將于股東大會(huì)審議限制性股票激勵(lì)計(jì)劃前5日披露對(duì)激勵(lì)對(duì)象名單的審核意見及其公示情況的說明。

??表決結(jié)果：3票贊成，0票反對(duì)，0票棄權(quán)。

??具體內(nèi)容詳見公司同日披露于上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）的相關(guān)公告及文件。

??特此公告。

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司監(jiān)事會(huì)

??2022年3月10日

??證券代碼：688012 證券簡(jiǎn)稱：中微公司 公告編號(hào)：2022-006

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??關(guān)于對(duì)睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司

??增資暨關(guān)聯(lián)交易的公告

??本公司董事會(huì)及全體董事保證本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

??重要內(nèi)容提示：

??●投資標(biāo)的名稱：睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“上海睿勵(lì)”）。

??●投資金額：1.08億元人民幣。

??●本次投資構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易，但未構(gòu)成重大資產(chǎn)重組。

??●本次對(duì)上海睿勵(lì)增資以現(xiàn)金方式投資1.08億元（大寫：壹億零捌佰萬元）人民幣，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本75,766,759.34元人民幣，認(rèn)購(gòu)單價(jià)為1.43元/股（注冊(cè)資本）。

??●本次投資尚需股東大會(huì)審議通過。

??●本次投資系中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”或“中微公司”）為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行的投資，有利于拓展公司業(yè)務(wù)范圍，符合公司戰(zhàn)略規(guī)劃。本次對(duì)外投資不存在損害上市公司股東利益的情形。

??●相關(guān)風(fēng)險(xiǎn)提示：上海睿勵(lì)在技術(shù)研發(fā)、業(yè)務(wù)發(fā)展等方面存在一定的不確定性，在經(jīng)營(yíng)過程中可能面臨技術(shù)和業(yè)務(wù)等方面風(fēng)險(xiǎn)，公司可能存在無法實(shí)現(xiàn)預(yù)期投資收益的風(fēng)險(xiǎn)。

??一、對(duì)外投資暨關(guān)聯(lián)交易情況概述

??上海睿勵(lì)成立于2005年6月27日，注冊(cè)資本344,608,548.15元人民幣，公司基于經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略發(fā)展考慮，擬對(duì)上海睿勵(lì)進(jìn)行增資。公司擬以現(xiàn)金方式投資1.08億元（大寫：壹億零捌佰萬元）人民幣，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本75,766,759.34元人民幣，認(rèn)購(gòu)單價(jià)為1.43元/股（注冊(cè)資本）（以下簡(jiǎn)稱“本次增資”）。上述交易完成后，公司持有的上海睿勵(lì)注冊(cè)資本額增加至163,266,759.34元人民幣，公司持股比例由20.4467%增加至29.3562%。

??因上海睿勵(lì)系公司董事長(zhǎng)GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）擔(dān)任現(xiàn)任董事長(zhǎng)、公司董事楊征帆擔(dān)任現(xiàn)任董事、公司監(jiān)事黃晨擔(dān)任現(xiàn)任董事的企業(yè)，故公司對(duì)上海睿勵(lì)增資事項(xiàng)構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易，但未構(gòu)成重大資產(chǎn)重組。

??至本次關(guān)聯(lián)交易為止，過去12個(gè)月內(nèi)公司與同一關(guān)聯(lián)人上海睿勵(lì)的關(guān)聯(lián)交易金額達(dá)到3,000萬元以上，且占公司***近一期經(jīng)審計(jì)總資產(chǎn)或市值1%以上。因此本次關(guān)聯(lián)交易事項(xiàng)需提交股東大會(huì)審議。

??二、關(guān)聯(lián)人（上海睿勵(lì)）基本情況

??（一）關(guān)聯(lián)關(guān)系說明

??上海睿勵(lì)系公司董事長(zhǎng)GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）擔(dān)任現(xiàn)任董事長(zhǎng)、公司董事楊征帆擔(dān)任現(xiàn)任董事、公司監(jiān)事黃晨擔(dān)任現(xiàn)任董事的企業(yè)。

??（二）上海睿勵(lì)基本情況

??名稱：睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司

??公司類型：有限責(zé)任公司（外商投資、非獨(dú)資）

??法定代表人：FENG YANG（楊峰）

??注冊(cè)資本：427,941,881.48元人民幣

??成立日期：2005年6月27日

??住所：中國(guó)（上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)華佗路68號(hào)6幢

??經(jīng)營(yíng)范圍：研制、生產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，銷售自產(chǎn)產(chǎn)品，提供相關(guān)的技術(shù)服務(wù)。【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】

??上海睿勵(lì)主營(yíng)的產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備，以及硅片厚度及翹曲測(cè)量設(shè)備等。上海睿勵(lì)自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲(chǔ)芯片產(chǎn)線支持64層3D NAND芯片的生產(chǎn)，并正在驗(yàn)證96層3D NAND芯片的測(cè)量性能。

??上海睿勵(lì)應(yīng)用于LED藍(lán)寶石襯底圖形檢測(cè)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，也已成功銷售到國(guó)內(nèi)LED PSS襯底和LED芯片生產(chǎn)線。

??上海睿勵(lì)正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測(cè)量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測(cè)設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)大可服務(wù)的市場(chǎng)規(guī)模。

??本次增資前關(guān)聯(lián)方的股權(quán)結(jié)構(gòu)：

??■

??上海睿勵(lì)***近12月內(nèi)的資產(chǎn)評(píng)估、增資、減資或改制情況：

??2021年3月，中微公司以1億元現(xiàn)金向上海睿勵(lì)出資，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)8,333.3333萬元新增注冊(cè)資本，認(rèn)購(gòu)單價(jià)為1.2元/股（注冊(cè)資本）。本輪增資完成后，上海睿勵(lì)的股權(quán)結(jié)構(gòu)如下：

??■

??關(guān)聯(lián)方***近一年的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)：

??單位：萬元人民幣

??■

??注：上海睿勵(lì)為非上市公司，扣除非經(jīng)常性損益后的凈利潤(rùn)未經(jīng)審計(jì)。

??關(guān)聯(lián)人與上市公司之間不存在產(chǎn)權(quán)、業(yè)務(wù)、資產(chǎn)、債權(quán)債務(wù)、人員等方面的其他關(guān)系。

??本次交易的標(biāo)的為上海睿勵(lì)，其產(chǎn)權(quán)清晰，不存在抵押、質(zhì)押及其他任何限制轉(zhuǎn)讓的情況，不存在涉及訴訟、仲裁事項(xiàng)或查封、凍結(jié)等司法措施，不存在妨礙權(quán)屬轉(zhuǎn)移的其他情況。

??三、關(guān)聯(lián)交易的定價(jià)情況

??本次對(duì)外投資，上海睿勵(lì)的投前估值為61,000.00萬元人民幣，系根據(jù)符合《證券法》規(guī)定的評(píng)估機(jī)構(gòu)上海東洲資產(chǎn)評(píng)估有限公司以2021年6月30日為評(píng)估基準(zhǔn)日所出具的評(píng)估報(bào)告為基礎(chǔ)確定。

??本次評(píng)估采用市場(chǎng)法得出的股東全部權(quán)益價(jià)值為61,000.00萬元，比資產(chǎn)基礎(chǔ)法測(cè)算得出的股東全部權(quán)益價(jià)值19,983.63萬元高41,118.93萬元，高206.82%。

??不同評(píng)估方法的評(píng)估結(jié)果差異的原因主要是各種評(píng)估方法對(duì)資產(chǎn)價(jià)值考慮的角度不同，資產(chǎn)基礎(chǔ)法是從企業(yè)各項(xiàng)資產(chǎn)現(xiàn)時(shí)重建的角度進(jìn)行估算；市場(chǎng)法是從現(xiàn)時(shí)市場(chǎng)可比價(jià)格角度進(jìn)行測(cè)算，導(dǎo)致各評(píng)估方法的評(píng)估結(jié)果存在差異。

??企業(yè)價(jià)值除了固定資產(chǎn)、營(yíng)運(yùn)資金等有形資源之外，還應(yīng)包含研發(fā)團(tuán)隊(duì)優(yōu)勢(shì)、服務(wù)能力、管理優(yōu)勢(shì)、產(chǎn)品稀缺性等重要的無形資源的貢獻(xiàn)。資產(chǎn)基礎(chǔ)法的評(píng)估結(jié)果僅對(duì)各單項(xiàng)有形資產(chǎn)和可確指的無形資產(chǎn)進(jìn)行了價(jià)值評(píng)估，并不能完全體現(xiàn)各個(gè)單項(xiàng)資產(chǎn)組合對(duì)整個(gè)公司的價(jià)值貢獻(xiàn)，也不能完全衡量各單項(xiàng)資產(chǎn)間的互相匹配和有機(jī)組合因素可能產(chǎn)生出來的企業(yè)整體效應(yīng)價(jià)值。而隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，資本市場(chǎng)也出現(xiàn)了較多和委估公司類似的、可比較的上市公司，而且中國(guó)的股市也日臻成熟，相對(duì)穩(wěn)定的股市也提供了市場(chǎng)法定價(jià)的基礎(chǔ)。

??通過以上分析，***終選用市場(chǎng)法評(píng)估結(jié)果作為本次被評(píng)估單位股東全部權(quán)益價(jià)值評(píng)估結(jié)論。

??本次關(guān)聯(lián)交易定價(jià)遵循了公平、公允、協(xié)商一致的原則，符合國(guó)家有關(guān)法律、法規(guī)及政策規(guī)定。關(guān)聯(lián)交易定價(jià)不存在損害公司及其他非關(guān)聯(lián)股東特別是中小股東利益的情況。

??四、關(guān)聯(lián)交易協(xié)議的主要內(nèi)容和履約安排

??（一）中微公司履行本次增資支付義務(wù)的先決條件

??中微公司投資款支付的義務(wù)，以下列先決條件全部獲得滿足為前提，中微公司有權(quán)以書面方式豁免其中一項(xiàng)或數(shù)項(xiàng)條件：

??1. 相關(guān)各方已適當(dāng)簽署所有的交易文件，并向本輪投資方（中微公司、上海同祺投資管理有限公司、海風(fēng)投資有限公司（Hai Feng Investment Holding Limited），下同）交付了每一份交易文件的原件，包括但不限于增資協(xié)議、因本次增資修改后的公司章程、上海睿勵(lì)其他股東放棄本次增資優(yōu)先認(rèn)購(gòu)權(quán)及依據(jù)其與上海睿勵(lì)簽署的相關(guān)協(xié)議所享有的隨本輪投資方以及上海盈贏微電子技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“上海盈贏”）共同對(duì)上海睿勵(lì)增資的權(quán)利（如有）的書面確認(rèn)文件、上海睿勵(lì)的股東會(huì)決議等，且交易文件已經(jīng)生效并在支付日及以后維持完全有效。

??2. 自增資協(xié)議簽署之日至支付日，上海睿勵(lì)及管理層股東已經(jīng)根據(jù)本輪投資方要求以書面形式向本輪投資方充分、真實(shí)、完整披露上海睿勵(lì)的資產(chǎn)、負(fù)債、權(quán)益、對(duì)外擔(dān)保以及與本次增資相關(guān)的全部信息。

??3. 自增資協(xié)議簽署之日至支付日，上海睿勵(lì)的經(jīng)營(yíng)或財(cái)務(wù)狀況等方面沒有發(fā)生重大的不利變化，上海睿勵(lì)沒有在任何資產(chǎn)或財(cái)產(chǎn)上新設(shè)立或允許新設(shè)立任何權(quán)利負(fù)擔(dān)（本輪投資方書面同意的除外），沒有以任何方式直接或間接地處置其主要或大部分資產(chǎn)（包括無形資產(chǎn)），也沒有發(fā)生或承擔(dān)任何重大債務(wù)（本輪投資方書面同意的除外）。

??4. 自增資協(xié)議簽署之日至支付日，管理層股東不得直接或間接轉(zhuǎn)讓其所持有的部分或全部上海睿勵(lì)股權(quán)或在其上設(shè)置任何形式的權(quán)利負(fù)擔(dān)，向上海皓睿微企業(yè)管理服務(wù)合伙企業(yè)（有限合伙）轉(zhuǎn)讓作為員工股權(quán)激勵(lì)目的的3,000萬元認(rèn)繳注冊(cè)資本的情形除外。

??5. 截止支付日，不存在限制、禁止或取消本次交易的中國(guó)法律、法院、仲裁機(jī)構(gòu)或有關(guān)政府主管部門的判決、裁決、裁定或禁令，也不存在任何已對(duì)或?qū)?duì)本次交易產(chǎn)生重大不利影響的正在發(fā)生的或潛在的訴訟、仲裁、判決、裁決、裁定或禁令。

??6. 中微公司已就本次增資獲得其董事會(huì)、股東大會(huì)批準(zhǔn)或其他必要的內(nèi)部決議機(jī)構(gòu)批準(zhǔn)。

??7. 本次增資取得有權(quán)批準(zhǔn)機(jī)關(guān)（如需）、上海睿勵(lì)內(nèi)部和其他所有相關(guān)方的同意和批準(zhǔn)。

??8. 本次增資所造成的國(guó)有權(quán)益變動(dòng)相關(guān)國(guó)有資產(chǎn)評(píng)估項(xiàng)目的備案程序已經(jīng)完成。

??（二）增資認(rèn)購(gòu)

??1. 根據(jù)協(xié)議的條款并以協(xié)議載明的條件為前提，本輪投資方以及上海盈贏同意以現(xiàn)金形式增資認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本，上海睿勵(lì)和其他股東同意接受該等增資。

??2. 各方同意，本次新增注冊(cè)資本128,216,169.52元，由本輪投資方以及上海盈贏認(rèn)購(gòu)，增資認(rèn)購(gòu)對(duì)價(jià)總額為182,762,816.15元（壹億捌仟貳佰柒拾陸萬貳仟捌佰壹拾陸元壹角伍分），每單位注冊(cè)資本認(rèn)購(gòu)對(duì)價(jià)約為1.43元，其中128,216,169.52元計(jì)入上海睿勵(lì)的注冊(cè)資本，54,546,646.63元計(jì)入資本公積，具體如下：

??■

??（三）增資認(rèn)購(gòu)款的支付及工商變更登記

??1. 以協(xié)議載明的條款和條件為前提，在根據(jù)協(xié)議規(guī)定的先決條件滿足的前提下，上海睿勵(lì)應(yīng)向本輪投資方發(fā)出一份增資認(rèn)購(gòu)款付款通知（“增資認(rèn)購(gòu)款付款通知”）。

??2. 除協(xié)議另有約定外，本輪投資方應(yīng)在收到上海睿勵(lì)出具的增資認(rèn)購(gòu)款付款通知之日起的20個(gè)工作日內(nèi)，將增資認(rèn)購(gòu)款一次性足額匯至上海睿勵(lì)的賬戶上。

??3. 上海睿勵(lì)應(yīng)在收到本輪投資方的全部增資認(rèn)購(gòu)款之日起30日內(nèi)（因不可抗因素造成的延遲除外），就本次增資完成相關(guān)工商變更登記手續(xù)（即完成上海睿勵(lì)注冊(cè)資本變更、上海睿勵(lì)章程的相應(yīng)變更備案并取得注冊(cè)資本變更后的新營(yíng)業(yè)執(zhí)照）（“本次增資完成”）。

??4. 上海睿勵(lì)應(yīng)當(dāng)在本輪投資方根據(jù)增資協(xié)議約定向上海睿勵(lì)履行支付義務(wù)后10日內(nèi)向本輪投資方簽發(fā)含有其認(rèn)繳出資和實(shí)繳出資金額的新的《出資證明書》和股東名冊(cè)。

??5. 上海睿勵(lì)應(yīng)在本次增資完成后10日內(nèi)聘請(qǐng)本輪投資方認(rèn)可的會(huì)計(jì)師事務(wù)所就本次增資出具相應(yīng)的驗(yàn)資報(bào)告。

??五、關(guān)聯(lián)交易的必要性以及對(duì)上市公司的影響

??集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測(cè)、清洗、離子注入等諸多個(gè)細(xì)分種類。工藝檢測(cè)設(shè)備是為芯片生產(chǎn)各工藝提供監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)以確保各項(xiàng)工藝指標(biāo)滿足要求從而提高成品率的關(guān)鍵性設(shè)備。隨著芯片工藝不斷向更小節(jié)點(diǎn)發(fā)展，芯片生產(chǎn)過程中的所需檢測(cè)的步驟和頻次越來越高，對(duì)工藝檢測(cè)設(shè)備的需求量隨之增加。

??本公司同上海睿勵(lì)的客戶和供應(yīng)商有高度重疊，通過本次增資，能進(jìn)一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。本次對(duì)外投資系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進(jìn)行，該事項(xiàng)的發(fā)生有其必要性和合理性，符合公司經(jīng)營(yíng)發(fā)展的需要，不存在損害上市公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。

??六、風(fēng)險(xiǎn)提示

??上海睿勵(lì)在技術(shù)研發(fā)、業(yè)務(wù)發(fā)展等方面存在一定的不確定性，在經(jīng)營(yíng)過程中可能面臨技術(shù)和業(yè)務(wù)等方面風(fēng)險(xiǎn)，公司可能存在無法實(shí)現(xiàn)預(yù)期投資收益的風(fēng)險(xiǎn)。目前上海睿勵(lì)經(jīng)營(yíng)處于虧損狀態(tài)，本次增資完成后，公司將按持股比例分擔(dān)上海睿勵(lì)的虧損。

??上海睿勵(lì)存在客戶驗(yàn)收進(jìn)度風(fēng)險(xiǎn)，會(huì)由于客戶未完成產(chǎn)品驗(yàn)收導(dǎo)致付運(yùn)機(jī)臺(tái)無法確認(rèn)收入，進(jìn)而對(duì)當(dāng)期及未來的經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)產(chǎn)生不利影響。

??上海睿勵(lì)前期流失部分技術(shù)人員，如果未能持續(xù)引進(jìn)、激勵(lì)所需的技術(shù)人才，上海睿勵(lì)將面臨技術(shù)人才不足的風(fēng)險(xiǎn)，進(jìn)而可能導(dǎo)致在技術(shù)突破、產(chǎn)品創(chuàng)新方面有所落后。

??上海睿勵(lì)注重知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)并一貫尊重他方的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，但由于行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系，不能排除上海睿勵(lì)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)被侵權(quán)，或者競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手采取訴訟手段延緩產(chǎn)品市場(chǎng)化進(jìn)程，此類知識(shí)產(chǎn)權(quán)爭(zhēng)端將對(duì)公司的正常經(jīng)營(yíng)活動(dòng)產(chǎn)生不利影響。

??上海睿勵(lì)產(chǎn)品部分關(guān)鍵零部件進(jìn)口自海外，近期由于國(guó)際貿(mào)易環(huán)境形式的變化，部分國(guó)家和地區(qū)對(duì)中國(guó)發(fā)展集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)的政策也在發(fā)生變化，不排除未來不能及時(shí)得到關(guān)鍵零部件的風(fēng)險(xiǎn)，進(jìn)而影響公司營(yíng)運(yùn)。

??七、關(guān)聯(lián)交易事項(xiàng)的審議程序

??2022年3月9日，公司召開第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議，審議通過《關(guān)于對(duì)參股公司增資暨關(guān)聯(lián)交易的議案》，關(guān)聯(lián)董事GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）、楊征帆回避表決，此議案獲出席會(huì)議的非關(guān)聯(lián)董事一致表決通過。根據(jù)《上海證券交易所科創(chuàng)板股票上市規(guī)則》和《公司章程》等相關(guān)規(guī)定，本事項(xiàng)尚需提交股東大會(huì)審議。

??公司全體獨(dú)立董事已就該事項(xiàng)進(jìn)行事先認(rèn)可，并發(fā)表了明確的獨(dú)立意見：《關(guān)于對(duì)參股公司增資暨關(guān)聯(lián)交易的議案》已經(jīng)公司第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議審議通過，關(guān)聯(lián)董事回避表決，其他非關(guān)聯(lián)董事審議通過了該議案，董事會(huì)在召集、召開及決議的程序上符合有關(guān)法律、法規(guī)及《公司章程》的規(guī)定。前述關(guān)聯(lián)交易價(jià)格公允，不會(huì)損害公司和全體股東的利益。

??公司董事會(huì)審計(jì)委員會(huì)已就該事項(xiàng)發(fā)表了書面審核意見：公司本次對(duì)外投資事項(xiàng)系出于公司戰(zhàn)略發(fā)展的需要，有利于進(jìn)一步促進(jìn)公司產(chǎn)業(yè)鏈延伸，有利于公司培育新的業(yè)務(wù)增長(zhǎng)點(diǎn)，促進(jìn)公司健康發(fā)展。本次交易定價(jià)合理，不存在損害公司及其他非關(guān)聯(lián)股東，特別是中小股東利益的情形，認(rèn)可該投資行為。

??八、保薦機(jī)構(gòu)核查意見

??經(jīng)核查，保薦機(jī)構(gòu)認(rèn)為：

??公司本次對(duì)參股公司增資暨關(guān)聯(lián)交易事項(xiàng)已經(jīng)公司第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議審議通過，董事會(huì)在召集、召開及決議的程序上符合有關(guān)法律、法規(guī)及《公司章程》的規(guī)定；公司獨(dú)立董事發(fā)表了同意的獨(dú)立意見；本次關(guān)聯(lián)交易需提交公司股東大會(huì)審議；本次關(guān)聯(lián)交易遵循市場(chǎng)原則，定價(jià)公允，關(guān)聯(lián)交易定價(jià)不存在損害公司及公司股東特別是中小股東利益的情形。

??綜上，保薦機(jī)構(gòu)對(duì)公司本次對(duì)參股公司增資暨關(guān)聯(lián)交易無異議。

??特此公告。

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事會(huì)

??2022年3月10日

??證券代碼：688012 證券簡(jiǎn)稱：中微公司 公告編號(hào)：2022-008

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??關(guān)于獨(dú)立董事

??公開征集委托投票權(quán)的公告

??本公司董事會(huì)及全體董事保證本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

??重要內(nèi)容提示：

??● 征集投票權(quán)的起止時(shí)間：2022年3月20日至2022年3月21日

??● 征集人對(duì)所有表決事項(xiàng)的表決意見：同意

??● 征集人未持有公司股票

??根據(jù)中國(guó)證券監(jiān)督管理委員會(huì)頒布的《上市公司股權(quán)激勵(lì)管理辦法》（以下簡(jiǎn)稱“《管理辦法》”）的有關(guān)規(guī)定，并按照中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”或“公司”）其他獨(dú)立董事的委托，獨(dú)立董事Chen, Shimin（陳世敏）博士作為征集人，就公司擬于2022年3月25日召開的2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)審議的股權(quán)激勵(lì)相關(guān)議案向公司全體股東征集投票權(quán)。

??一、征集人的基本情況、對(duì)表決事項(xiàng)的表決意見及理由

??（一）征集人的基本情況

??1、本次征集投票權(quán)的征集人為公司現(xiàn)任獨(dú)立董事Chen, Shimin（陳世敏）博士，其基本情況如下：

??Chen, Shimin（陳世敏）博士，1958年生，美國(guó)國(guó)籍，上海財(cái)經(jīng)大學(xué)學(xué)士、碩士，美國(guó)佐治亞大學(xué)博士。1985年至1986年，擔(dān)任上海財(cái)經(jīng)大學(xué)教師；1991年至1998年，擔(dān)任賓州克萊瑞恩大學(xué)（Clarion University of Pennsylvania）會(huì)計(jì)學(xué)副教授、教授；1998年至2002年，擔(dān)任香港嶺南大學(xué)會(huì)計(jì)學(xué)副教授；2002年至2004年，擔(dān)任路易斯安那大學(xué)拉法葉分校（The University of Louisiana at Lafayette）會(huì)計(jì)學(xué)副教授；2004年至2005年，擔(dān)任香港嶺南大學(xué)會(huì)計(jì)學(xué)副教授；2005年至2008年，歷任香港理工大學(xué)會(huì)計(jì)學(xué)副教授，會(huì)計(jì)金融學(xué)院副主任；2008年至今，歷任中歐國(guó)際工商學(xué)院會(huì)計(jì)學(xué)教授，副教務(wù)長(zhǎng)及工商管理碩士主任，案例中心主任。現(xiàn)任中微公司獨(dú)立董事。

??征集人未持有公司股票，目前未因證券違法行為受到處罰，未涉及與經(jīng)濟(jì)糾紛有關(guān)的重大民事訴訟或仲裁。

??征集人與其主要直系親屬未就本公司股權(quán)有關(guān)事項(xiàng)達(dá)成任何協(xié)議或安排；其作為公司獨(dú)立董事，與本公司董事、高級(jí)管理人員、主要股東及其關(guān)聯(lián)人以及與本次征集事項(xiàng)之間不存在任何利害關(guān)系。

??2、征集人對(duì)表決事項(xiàng)的表決意見及理由

??征集人作為公司獨(dú)立董事，出席了公司于2022年3月9日召開的第二屆董 事會(huì)第三次會(huì)議，并且對(duì)與公司實(shí)施2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（以下簡(jiǎn)稱“本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃”）相關(guān)的《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃（草案）〉及其摘要的議案》、《關(guān)于公司〈2022年限制性股票激勵(lì)計(jì)劃實(shí)施考核管理辦法〉的議案》、《關(guān)于提請(qǐng)股東大會(huì)授權(quán)董事會(huì)辦理股權(quán)激勵(lì)相關(guān)事宜的議案》等三項(xiàng)議案均投了同意票，并發(fā)表了同意公司實(shí)施本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的獨(dú)立意見。

??征集人認(rèn)為公司本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃有利于促進(jìn)公司的持續(xù)發(fā)展，形成對(duì)公司管理團(tuán)隊(duì)、技術(shù)骨干和業(yè)務(wù)骨干的長(zhǎng)效激勵(lì)機(jī)制，不存在損害公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。公司本次限制性股票激勵(lì)計(jì)劃的激勵(lì)對(duì)象均符合法律、法規(guī)及規(guī)范性文件所規(guī)定的成為激勵(lì)對(duì)象的條件。

??二、本次股東大會(huì)的基本情況

??（一）會(huì)議召開時(shí)間

??1、現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議時(shí)間：2022年3月25日14時(shí)30分

??2、網(wǎng)絡(luò)投票時(shí)間：2022年3月25日

??公司本次股東大會(huì)采用上海證券交易所網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)，通過交易系統(tǒng)投票平臺(tái)的投票時(shí)間為股東大會(huì)召開當(dāng)日的交易時(shí)間段，即9:15-9:25，9:30-11:30，13:00-15:00；通過互聯(lián)網(wǎng)投票平臺(tái)的投票時(shí)間為股東大會(huì)召開當(dāng)日的 9:15-15:00。

??（二）會(huì)議召開地點(diǎn)

??上海市浦東新區(qū)泰華路188號(hào)中微公司二號(hào)樓三樓2303會(huì)議室

??（三）需征集委托投票權(quán)的議案

??■

??本次股東大會(huì)召開的具體情況，詳見公司于2022年3月10日在上海證券交易所網(wǎng)站(www.sse.com.cn)及《中國(guó)證券報(bào)》、《上海證券報(bào)》、《證券時(shí)報(bào)》、《證券日?qǐng)?bào)》上登載的《關(guān)于召開2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)的通知》。

??三、征集方案

??（一）征集對(duì)象

??截止2022年3月18日下午交易結(jié)束后,在中國(guó)證券登記結(jié)算有限責(zé)任公司上海分公司登記在冊(cè)并辦理了出席會(huì)議登記手續(xù)的公司全體股東。

??（二）征集時(shí)間

??2022年3月20日至2022年3月21日（上午10:00-12:00，下午14:00-17:00）。

??（三）征集方式

??采用公開方式在上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）及《中國(guó)證券報(bào)》、《上海證券報(bào)》、《證券時(shí)報(bào)》、《證券日?qǐng)?bào)》上發(fā)布公告進(jìn)行委托投票權(quán)征集行動(dòng)。

??（四）征集程序

??1、股東決定委托征集人投票的，應(yīng)按本報(bào)告附件確定的格式和內(nèi)容逐項(xiàng)填 寫《獨(dú)立董事公開征集委托投票權(quán)授權(quán)委托書》（以下簡(jiǎn)稱“授權(quán)委托書”）。

??2、向征集人委托的公司董事會(huì)辦公室提交本人簽署的授權(quán)委托書及其他相關(guān)文件；本次征集委托投票權(quán)由公司董事會(huì)辦公室簽收授權(quán)委托書及其他相關(guān)文件：

??（1）委托投票股東為法人股東的,其應(yīng)提交法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照復(fù)印件、法定代表 人身份證明復(fù)印件、授權(quán)委托書原件、股東賬戶卡；法人股東按本條規(guī)定提供的 所有文件應(yīng)由法人代表逐頁簽字并加蓋股東單位公章；

??（2）委托投票股東為個(gè)人股東的,其應(yīng)提交本人身份證復(fù)印件、授權(quán)委托書 原件、股票賬戶卡復(fù)印件；

??（3）授權(quán)委托書為股東授權(quán)他人簽署的，該授權(quán)委托書應(yīng)當(dāng)經(jīng)公證機(jī)關(guān)公證，并將公證書連同授權(quán)委托書原件一并提交；由股東本人或股東單位法定代表人簽署的授權(quán)委托書不需要公證。

??3、委托投票股東按上述第2點(diǎn)要求備妥相關(guān)文件后，應(yīng)在征集時(shí)間內(nèi)將授 權(quán)委托書及相關(guān)文件采取專人送達(dá)、掛號(hào)信函或特快專遞方式并按本報(bào)告書***地址送達(dá)；采取掛號(hào)信函或特快專遞方式的，收到時(shí)間以公司董事會(huì)辦公室收到時(shí)間為準(zhǔn)。

??委托投票股東送達(dá)授權(quán)委托書及相關(guān)文件的***地址和收件人如下：

??地址：上海市金橋出口加工區(qū)南區(qū)泰華路188號(hào)董事會(huì)辦公室

??郵編：201201

??電話：（021）61001199

??聯(lián)系人：胡瀟

??請(qǐng)將提交的全部文件予以妥善密封，注明委托投票股東的聯(lián)系電話和聯(lián)系人，并在顯著位置標(biāo)明“獨(dú)立董事公開征集投票權(quán)授權(quán)委托書”字樣。

??（五）委托投票股東提交文件送達(dá)后，經(jīng)律師事務(wù)所見證律師審核，全部滿足以下條件的授權(quán)委托將被確認(rèn)為有效：1、已按本報(bào)告書征集程序要求將授權(quán)委托書及相關(guān)文件送達(dá)***地點(diǎn)；2、在征集時(shí)間內(nèi)提交授權(quán)委托書及相關(guān)文件；3、股東已按本報(bào)告書附件規(guī)定格式填寫并簽署授權(quán)委托書，且授權(quán)內(nèi)容明確，提交相關(guān)文件完整、有效；4、提交授權(quán)委托書及相關(guān)文件的股東基本情況與股東名冊(cè)記載內(nèi)容相符；5、未將征集事項(xiàng)的投票權(quán)委托征集人以外的其他人行使。股東將其對(duì)征集事項(xiàng)投票權(quán)重復(fù)授權(quán)給征集人且其授權(quán)內(nèi)容不相同的，以股東***后一次簽署的授權(quán)委托書為有效，無法判斷簽署時(shí)間的，以***后收到的授權(quán)委托書為有效，無法判斷收到時(shí)間先后順序的，由征集人以詢問方式要求授權(quán)委托人進(jìn)行確認(rèn)，通過該種方式仍無法確認(rèn)授權(quán)內(nèi)容的，該項(xiàng)授權(quán)委托無效；6、股東將征集事項(xiàng)投票權(quán)授權(quán)委托給征集人后，股東可以親自或委托代理人出席會(huì)議，但對(duì)征集事項(xiàng)無投票權(quán)。

??（六）經(jīng)確認(rèn)有效的授權(quán)委托出現(xiàn)下列情形的，征集人將按照以下辦法處理：1、股東將征集事項(xiàng)投票權(quán)授權(quán)委托給征集人后，在現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議登記時(shí)間截止之前以書面方式明示撤銷對(duì)征集人的授權(quán)委托，則征集人將認(rèn)定其對(duì)征集人的授權(quán)委托自動(dòng)失效；2、股東將征集事項(xiàng)投票權(quán)授權(quán)委托給征集人以外的其他人登記并出席會(huì)議，且在現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議登記時(shí)間截止之前以書面方式明示撤銷對(duì)征集人的授權(quán)委托的，則征集人將認(rèn)定其對(duì)征集人的授權(quán)委托自動(dòng)失效；若在現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議登記時(shí)間截止之前未以書面方式明示撤銷對(duì)征集人的授權(quán)委托的，則對(duì)征集人的委托為***有效的授權(quán)委托；3、股東應(yīng)在提交的授權(quán)委托書中明確其對(duì)征集事項(xiàng)的投票指示，并在“同意”、“反對(duì)”或“棄權(quán)”中選擇一項(xiàng)并打“√”，選擇一項(xiàng)以上或未選擇的，則征集人將認(rèn)定其授權(quán)委托無效。

??（七）由于征集投票權(quán)的特殊性，對(duì)授權(quán)委托書實(shí)施審核時(shí)，僅對(duì)股東根據(jù)本公告提交的授權(quán)委托書進(jìn)行形式審核，不對(duì)授權(quán)委托書及相關(guān)文件上的簽字和蓋章是否確為股東本人簽字或蓋章或該等文件是否確由股東本人或股東授權(quán)委托代理人發(fā)出進(jìn)行實(shí)質(zhì)審核。符合本報(bào)告規(guī)定形式要件的授權(quán)委托書和相關(guān)證明文件均被確認(rèn)為有效。

??特此公告。

??征集人：Chen, Shimin（陳世敏）

??2022年3月10日

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??獨(dú)立董事公開征集委托投票權(quán)授權(quán)委托書

??本人/本公司作為委托人確認(rèn),在簽署本授權(quán)委托書前已認(rèn)真閱讀了征集人為本次征集投票權(quán)制作并公告的《關(guān)于獨(dú)立董事公開征集委托投票權(quán)的公告》、《中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司關(guān)于召開2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)通知的公告》及其他相關(guān)文件,對(duì)本次征集投票權(quán)等相關(guān)情況已充分了解。

??本人/本公司作為授權(quán)委托人,茲授權(quán)委托中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司獨(dú)立董事Chen, Shimin（陳世敏）作為本人/本公司的代理人出席中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì),并按本授權(quán)委托書指示對(duì)以下會(huì)議審議事項(xiàng)行使表決權(quán)。本人/本公司對(duì)本次征集投票權(quán)事項(xiàng)的投票意見：

??■

??（委托人應(yīng)當(dāng)就每一議案表示授權(quán)意見，具體授權(quán)以對(duì)應(yīng)格內(nèi)“√”為準(zhǔn),多選或漏選視為棄權(quán)）

??委托人姓名或名稱（簽名或蓋章）：

??委托股東身份證號(hào)碼或營(yíng)業(yè)執(zhí)照號(hào)碼：

??委托股東持股數(shù)：

??委托股東證券賬戶號(hào)：

??簽署日期：

??本項(xiàng)授權(quán)的有效期限：自簽署日至2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)結(jié)束。

??證券代碼：688012 證券簡(jiǎn)稱：中微公司 公告編號(hào)：2022-009

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

??關(guān)于召開2022年

??第二次臨時(shí)股東大會(huì)的通知

??本公司董事會(huì)及全體董事保證公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

??重要內(nèi)容提示：

??● 股東大會(huì)召開日期：2022年3月25日

??● 本次股東大會(huì)采用的網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)：上海證券交易所股東大會(huì)網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)

??一、 召開會(huì)議的基本情況

??（一） 股東大會(huì)類型和屆次

??2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)

??（二） 股東大會(huì)召集人：董事會(huì)

??（三） 投票方式：本次股東大會(huì)所采用的表決方式是現(xiàn)場(chǎng)投票和網(wǎng)絡(luò)投票相結(jié)合的方式

??（四） 現(xiàn)場(chǎng)會(huì)議召開的日期、時(shí)間和地點(diǎn)

??召開日期時(shí)間：2022年3月25日 14 點(diǎn) 30分

??召開地點(diǎn)：上海市浦東新區(qū)泰華路188號(hào)中微公司二號(hào)樓三樓2303會(huì)議室

??（五） 網(wǎng)絡(luò)投票的系統(tǒng)、起止日期和投票時(shí)間。

??網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)：上海證券交易所股東大會(huì)網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)

??網(wǎng)絡(luò)投票起止時(shí)間：自2022年3月25日

??至2022年3月25日

??采用上海證券交易所網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)，通過交易系統(tǒng)投票平臺(tái)的投票時(shí)間為股東大會(huì)召開當(dāng)日的交易時(shí)間段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通過互聯(lián)網(wǎng)投票平臺(tái)的投票時(shí)間為股東大會(huì)召開當(dāng)日的9:15-15:00。

??（六） 融資融券、轉(zhuǎn)融通、約定購(gòu)回業(yè)務(wù)賬戶和滬股通投資者的投票程序

??涉及融資融券、轉(zhuǎn)融通業(yè)務(wù)、約定購(gòu)回業(yè)務(wù)相關(guān)賬戶以及滬股通投資者的投票，應(yīng)按照《上海證券交易所科創(chuàng)板上市公司自律監(jiān)管指引第1號(hào) 一 規(guī)范運(yùn)作》等有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

??（七） 涉及公開征集股東投票權(quán)

??無

??二、 會(huì)議審議事項(xiàng)

??本次股東大會(huì)審議議案及投票股東類型

??■

??1、 說明各議案已披露的時(shí)間和披露媒體

??本次提交股東大會(huì)審議的議案已經(jīng)公司第二屆董事會(huì)第三次會(huì)議審議通過。相關(guān) 公告已于 2022 年 3 月 10日在上海證券交易所網(wǎng)站（www.sse.com.cn）及《中 國(guó)證券報(bào)》、《上海證券報(bào)》、《證券時(shí)報(bào)》、《證券日?qǐng)?bào)》予以披露。公司將在 2022 年第二次臨時(shí)股東大會(huì)召開前，在上海證券交易所網(wǎng)站(www.sse.com.cn)登載 《2022 年第二次臨時(shí)股東大會(huì)會(huì)議資料》。

??2、 特別決議議案：2、3、4

??3、 對(duì)中小投資者單獨(dú)計(jì)票的議案：1-4

??4、 涉及關(guān)聯(lián)股東回避表決的議案：1-4

??應(yīng)回避表決的關(guān)聯(lián)股東名稱：GERALD ZHEYAO YIN（尹志堯）需對(duì)議案1進(jìn)行回避表決；2022 年限制性股票激勵(lì)對(duì)象若同時(shí)是公司股東，則需對(duì)議案 2-4 進(jìn)行回避表決。

??5、 涉及優(yōu)先股股東參與表決的議案：無

??三、 股東大會(huì)投票注意事項(xiàng)

??（一） 本公司股東通過上海證券交易所股東大會(huì)網(wǎng)絡(luò)投票系統(tǒng)行使表決權(quán)的，既可以登陸交易系統(tǒng)投票平臺(tái)（通過***交易的證券公司交易終端）進(jìn)行投票，也可以登陸互聯(lián)網(wǎng)投票平臺(tái)（網(wǎng)址：vote.sseinfo.com）進(jìn)行投票。***登陸互聯(lián)網(wǎng)投票平臺(tái)進(jìn)行投票的，投資者需要完成股東身份認(rèn)證。具體操作請(qǐng)見互聯(lián)網(wǎng)投票平臺(tái)網(wǎng)站說明。

??（二） 同一表決權(quán)通過現(xiàn)場(chǎng)、本所網(wǎng)絡(luò)投票平臺(tái)或其他方式重復(fù)進(jìn)行表決的，以***次投票結(jié)果為準(zhǔn)。

??（三） 股東對(duì)所有議案均表決完畢才能提交。

??四、 會(huì)議出席對(duì)象

??（一） 股權(quán)登記日下午收市時(shí)在中國(guó)登記結(jié)算有限公司上海分公司登記在冊(cè)的公司股東有權(quán)出席股東大會(huì)（具體情況詳見下表），并可以以書面形式委托代理人出席會(huì)議和參加表決。該代理人不必是公司股東。

??■

??（二） 公司董事、監(jiān)事和高級(jí)管理人員。

??（三） 公司聘請(qǐng)的律師。

??（四） 其他人員

??五、 會(huì)議登記方法

??（一）登記手續(xù)：

??1、法人股東：應(yīng)由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席會(huì)議。法定代表人出席會(huì)議的，應(yīng)出示法人股東股票賬戶卡、本人身份證、能證明其具有法定代表人資格的有效證明；委托代理人出席會(huì)議的，代理人還應(yīng)出示本人身份證、法人股東單位的法定代表人依法出具的書面授權(quán)委托書。出席會(huì)議的股東及股東代理人請(qǐng)攜帶相關(guān)證件原件到場(chǎng)。

??2、個(gè)人股東：個(gè)人股東親自出席會(huì)議的，應(yīng)出示本人身份證或其他能夠表明其身份的有效證件或證明、股票賬戶卡；委托代理他人出席會(huì)議的，代理人還應(yīng)出示本人有效身份證件、股東授權(quán)委托書。

??（二）登記時(shí)間： 2022 年 3 月 22日（上午 9:30－11:30 下午 1:30－4:00）。

??（三）登記地點(diǎn)：上海市金橋出口加工區(qū)南區(qū)泰華路 188 號(hào)董事會(huì)辦公室

??（四）登記方式：可采用電話登記、現(xiàn)場(chǎng)登記、信函或傳真方式登記

??（五）注意事項(xiàng)：股東請(qǐng)?jiān)趨⒓蝇F(xiàn)場(chǎng)會(huì)議時(shí)攜帶上述證件。

??六、 其他事項(xiàng)

??（一）會(huì)議聯(lián)系方式

??聯(lián)系人：胡瀟

??電話： +86-21-6100 1199

??傳真： +86-21-6100 2205

??地址：上海市金橋出口加工區(qū)南區(qū)泰華路 188 號(hào)董事會(huì)辦公室

??（二）會(huì)議費(fèi)用情況：本次股東大會(huì)會(huì)期半天，與會(huì)股東所有費(fèi)用自理

??（三）出席會(huì)議的股東及股東代理人請(qǐng)攜帶相關(guān)證件原件到場(chǎng)

??特此公告。

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事會(huì)

??2022年3月10日

??附件1：授權(quán)委托書

??授權(quán)委托書

??中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司：

??茲委托 先生（女士）代表本單位（或本人）出席2022年3月25日召開的貴公司2022年第二次臨時(shí)股東大會(huì)，并代為行使表決權(quán)。

??委托人持普通股數(shù)：

??委托人持優(yōu)先股數(shù)：

??委托人股東帳戶號(hào)：

??■

??委托人簽名（蓋章）： 受托人簽名：

??委托人身份證號(hào)： 受托人身份證號(hào)：

??委托日期： 年 月 日

??備注：

??委托人應(yīng)在委托書中“同意”、“反對(duì)”或“棄權(quán)”意向中選擇一個(gè)并打“√”，對(duì)于委托人在本授權(quán)委托書中未作具體指示的，受托人有權(quán)按自己的意愿進(jìn)行表決。

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